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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » XRD测量薄膜残余应力深度问题
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honghuyiba

新虫 (小有名气)

[交流] XRD测量薄膜残余应力深度问题

文献中认为XRD测量的只是薄膜表层很薄一层的平面平均应力状态，但是对于薄膜样品怎样保证测量的深度是表层而非到达界面附近，有经验公式对这个深度进行估算吗？O(∩_∩)O谢谢！！！
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1楼 2012-10-25 21:27:23
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honghuyiba

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 大水杯 at 2012-10-28 13:41:26
对薄膜而言，内应力一般用Stoney公式计算

高人能否再详细说一下好吗？O(∩_∩)O谢谢
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3楼2012-10-29 19:51:02
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大水杯

木虫 (著名写手)
★ ★
honghuyiba(金币+1): 谢谢参与
lijunjie84: 金币+1, 感谢参与！ 2012-10-30 10:34:38
对薄膜而言，内应力一般用Stoney公式计算
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2楼2012-10-28 13:41:26
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