| 查看: 549 | 回复: 1 | |||||
6sbiam至尊木虫 (著名写手)
|
[求助]
如何检测微米网格的厚度？
|
|
做了一微米级的网格，网格的设计厚(高)度是100纳米，那么怎么检测其厚度？AFM可以用不？台阶仪精度如何？北京哪里可以测试？ 谢谢！ [ Last edited by 6sbiam on 2012-10-24 at 18:20 ] |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 表征与测试分析 |
» 猜你喜欢
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有10人回复
-
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有205人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
-
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有8人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- Ledit有没有网格视图功能？
已经有3人回复
- 有机玻璃上如何做微米级金属网格？
已经有5人回复
- Nature最新研究进展：石墨烯-氮化硼平面异质结构用作原子层厚度的电路
已经有117人回复
- 如何对500微米厚度以内的金属样品侧面进行XRD、TEM等测试
已经有14人回复
- [b][求助] AFM 测量石墨烯厚度中的制样问题[/b]
已经有20人回复
- 单层石墨烯厚度固定吗？
已经有6人回复
- 各位，XRD 是不是只要表面的薄物质（厚度微米级以下）都很难检测出来？
已经有12人回复
- 测光刻胶厚度
已经有12人回复
- 【讨论】柠檬酸钠方法得到的金纳米颗粒表面包裹的柠檬酸钠的厚度问题
已经有14人回复
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
6sbiam: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2012-10-24 22:33:10
感谢参与，应助指数 +1
6sbiam: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2012-10-24 22:33:10
|
建议用光学轮廓仪，或者白光干涉仪，速度快，精度也不错。 AFM可以用，理论测量范围是满足的，但是要小心，爬坡坡度太陡的话，容易撞针，建议先把结构的轮廓搞清楚后再考虑AFM。还有一点是速度慢。 台阶仪也是可以的，理论Z轴测量精度也是纳米级以下的，但别找老机器，老机器没谱。台阶仪还有个问题就是水平精度差些，并且基准很容易漂，动不动平面就变弯了，还得软件校准。 激光共聚焦也可以考虑，Z轴精度会差很多，超过10nm，但是测量面积大。 这些都是常用仪器，开放的地方大部分都有，比如国家纳米中心啥的。 |
2楼2012-10-24 20:01:04
