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6sbiam至尊木虫 (著名写手)
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如何检测微米网格的厚度？
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做了一微米级的网格，网格的设计厚(高)度是100纳米，那么怎么检测其厚度？AFM可以用不？台阶仪精度如何？北京哪里可以测试？ 谢谢！ [ Last edited by 6sbiam on 2012-10-24 at 18:20 ] |
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yswyx 
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【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
6sbiam: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2012-10-24 22:33:10
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6sbiam: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2012-10-24 22:33:10
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建议用光学轮廓仪，或者白光干涉仪，速度快，精度也不错。 AFM可以用，理论测量范围是满足的，但是要小心，爬坡坡度太陡的话，容易撞针，建议先把结构的轮廓搞清楚后再考虑AFM。还有一点是速度慢。 台阶仪也是可以的，理论Z轴测量精度也是纳米级以下的，但别找老机器，老机器没谱。台阶仪还有个问题就是水平精度差些，并且基准很容易漂，动不动平面就变弯了，还得软件校准。 激光共聚焦也可以考虑，Z轴精度会差很多，超过10nm，但是测量面积大。 这些都是常用仪器，开放的地方大部分都有，比如国家纳米中心啥的。 |
2楼2012-10-24 20:01:04
