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minyi100银虫 (小有名气)
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有源层TFT，用什么作衬底？
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在下的研究方向为制备有源层TFT，但衬底的选择让我伤透了脑筋 底栅结构的TFT，ITO/SiO2/有源层 ITO可以买，中间绝缘的SiO2层怎么弄上去呢？ 还是也有这种复合膜层购买呢？ 请大家给点意见 |
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yswyx 
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2楼2012-10-24 13:21:17
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4楼2012-10-24 16:09:45
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5楼2012-11-22 10:14:47
yswyx
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一般是PECVD全部长一层SiO2，然后光刻，然后腐蚀，得到你要的SiO2膜层图形。你想让哪个地方露出来，咱们就让哪个地方露出来，你给图纸就行。然后你再做你的有源层。 留邮箱和QQ给你 wangyx@resemi.com , 2460354088 |
6楼2012-11-22 11:42:07
7楼2012-12-16 06:11:38