24小时热门版块排行榜    

查看: 2546  |  回复: 6
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

minyi100

银虫 (小有名气)

[求助] 有源层TFT,用什么作衬底?

在下的研究方向为制备有源层TFT,但衬底的选择让我伤透了脑筋
底栅结构的TFT,ITO/SiO2/有源层
ITO可以买,中间绝缘的SiO2层怎么弄上去呢?
还是也有这种复合膜层购买呢?
请大家给点意见
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fansonic

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

直接买热氧化生长的Si/SiO2,可能价钱比ITO玻璃贵,但是这样会省很多力。我也做oxide TFT的~
7楼2012-12-16 06:11:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2012-11-22 13:02:15
应该做PECVD吧。我这儿既有ITO,也可以做PECVD,需要的话把规格告诉我,可以站内联系我。
2楼2012-10-24 13:21:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

minyi100

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-24 13:21:17
应该做PECVD吧。我这儿既有ITO,也可以做PECVD,需要的话把规格告诉我,可以站内联系我。

可是做PECVD的面积比较受限吧,你那边最大做过多大的呀?
3楼2012-10-24 14:24:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by minyi100 at 2012-10-24 14:24:06
可是做PECVD的面积比较受限吧,你那边最大做过多大的呀?...

如果面积很大,要专门的PVD设备的。
我们倒是有很大面积的PECVD设备,你的基板有多大?
4楼2012-10-24 16:09:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[公派出国] 售SCI一区文章,我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 wsYGJnURYvm6 2026-08-31 4/200 2026-09-01 06:38 by o3EMxHUAQDtS
[硕博家园] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 wsYGJnURYvm6 2026-08-31 4/200 2026-09-01 06:07 by o3EMxHUAQDtS
[公派出国] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 EZ67DG6CvcKL 2026-08-31 5/250 2026-09-01 05:56 by o3EMxHUAQDtS
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 EZ67DG6CvcKL 2026-08-31 5/250 2026-09-01 05:45 by o3EMxHUAQDtS
[基金申请] 国社科又开始会评了,不知道这次命运如何 +7 雨打竹帘 2026-08-30 11/550 2026-08-31 23:16 by hittle2008
[基金申请] 哪位高人中了,把查询到的截图贴出来让我看看,让我长长见识 +6 yuleib84 2026-08-26 7/350 2026-08-31 19:46 by 鱼翔浅底1
[基金申请] 基金不中,共勉 +12 eulota 2026-08-26 12/600 2026-08-31 08:42 by ZJTJZ
[基金申请] 为什么到现在没收到通知? +5 tannykie 2026-08-29 5/250 2026-08-30 21:05 by purplejack
[基金申请] 有没有仍没收到信息的 +7 德尚中行 2026-08-27 8/400 2026-08-30 20:52 by purplejack
[考博] 找导师 +6 yuanjiabao 2026-08-29 7/350 2026-08-30 14:40 by 生科新手
[基金申请] 麻烦专家们看看评委们的意见(F口面上) +6 gdd2018 2026-08-28 11/550 2026-08-30 08:58 by 超级无敌华子
[基金申请] 我就是申请一个面上项目而已,这评审意见是按照杰青的条件评的吧? +6 gouxfjh 2026-08-28 11/550 2026-08-30 07:57 by gouxfjh
[基金申请] 国自然面上复盘~欢迎讨论 (金币+15) +15 晴天加油 2026-08-26 16/800 2026-08-29 18:28 by symmetry
[基金申请] 国自然评审意见 +13 wangmingqi 2026-08-28 19/950 2026-08-29 10:22 by Poppy1104
[基金申请] 基金系统什么内容也没有 30+4 winsaint 2026-08-27 9/450 2026-08-28 11:06 by maolC
[基金申请] 怎么查啊 +6 huang1991js 2026-08-26 6/300 2026-08-28 08:42 by winsaint
[基金申请] 面上合作单位盖章 +5 ssyjh 2026-08-27 5/250 2026-08-27 20:50 by gdfollow
[基金申请] 为什么 国际(地区)合作与交流项目 没有放榜? 10+3 majunge000 2026-08-26 11/550 2026-08-27 08:42 by 北京莱茵编辑
[基金申请] 国际合作可查了,中了面上 (EPI+1)(金币+50) +18 Ldrop2023 2026-08-26 18/900 2026-08-26 11:15 by cmrandy
[基金申请] 在坚冰还盖着北海的时候,我看到了怒放的梅花。 (金币+10) +6 ziyangfang 2026-08-25 9/450 2026-08-25 20:26 by huagongfeihu
信息提示
请填处理意见