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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 有源层TFT，用什么作衬底？
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minyi100

银虫 (小有名气)

[求助] 有源层TFT，用什么作衬底？

在下的研究方向为制备有源层TFT，但衬底的选择让我伤透了脑筋
底栅结构的TFT，ITO/SiO2/有源层
ITO可以买，中间绝缘的SiO2层怎么弄上去呢？
还是也有这种复合膜层购买呢？
请大家给点意见
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1楼 2012-10-24 10:51:10
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2012-11-22 13:02:15
应该做PECVD吧。我这儿既有ITO，也可以做PECVD，需要的话把规格告诉我，可以站内联系我。
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2楼2012-10-24 13:21:17
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minyi100

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-24 13:21:17
应该做PECVD吧。我这儿既有ITO，也可以做PECVD，需要的话把规格告诉我，可以站内联系我。

可是做PECVD的面积比较受限吧，你那边最大做过多大的呀？
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3楼2012-10-24 14:24:06
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by minyi100 at 2012-10-24 14:24:06
可是做PECVD的面积比较受限吧，你那边最大做过多大的呀？...

如果面积很大，要专门的PVD设备的。
我们倒是有很大面积的PECVD设备，你的基板有多大？
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4楼2012-10-24 16:09:45
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minyi100

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-24 16:09:45
如果面积很大，要专门的PVD设备的。
我们倒是有很大面积的PECVD设备，你的基板有多大？...

我的基板倒是不大，但是做了PECVD之后，我的ITO电极如何裸露呢？还是你做的时候可以按照我的要求，部分不覆盖，让ITO电极裸露呢？
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5楼2012-11-22 10:14:47
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by minyi100 at 2012-11-22 10:14:47
我的基板倒是不大，但是做了PECVD之后，我的ITO电极如何裸露呢？还是你做的时候可以按照我的要求，部分不覆盖，让ITO电极裸露呢？...

一般是PECVD全部长一层SiO2，然后光刻，然后腐蚀，得到你要的SiO2膜层图形。你想让哪个地方露出来，咱们就让哪个地方露出来，你给图纸就行。然后你再做你的有源层。
留邮箱和QQ给你 wangyx@resemi.com , 2460354088
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6楼2012-11-22 11:42:07
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fansonic

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

直接买热氧化生长的Si/SiO2，可能价钱比ITO玻璃贵，但是这样会省很多力。我也做oxide TFT的~
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7楼2012-12-16 06:11:38
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