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minyi100

银虫 (小有名气)

[求助] 有源层TFT,用什么作衬底?

在下的研究方向为制备有源层TFT,但衬底的选择让我伤透了脑筋
底栅结构的TFT,ITO/SiO2/有源层
ITO可以买,中间绝缘的SiO2层怎么弄上去呢?
还是也有这种复合膜层购买呢?
请大家给点意见
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by minyi100 at 2012-10-24 14:24:06
可是做PECVD的面积比较受限吧,你那边最大做过多大的呀?...

如果面积很大,要专门的PVD设备的。
我们倒是有很大面积的PECVD设备,你的基板有多大?
4楼2012-10-24 16:09:45
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2012-11-22 13:02:15
应该做PECVD吧。我这儿既有ITO,也可以做PECVD,需要的话把规格告诉我,可以站内联系我。
2楼2012-10-24 13:21:17
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minyi100

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-24 13:21:17
应该做PECVD吧。我这儿既有ITO,也可以做PECVD,需要的话把规格告诉我,可以站内联系我。

可是做PECVD的面积比较受限吧,你那边最大做过多大的呀?
3楼2012-10-24 14:24:06
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minyi100

银虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-24 16:09:45
如果面积很大,要专门的PVD设备的。
我们倒是有很大面积的PECVD设备,你的基板有多大?...

我的基板倒是不大,但是做了PECVD之后,我的ITO电极如何裸露呢?还是你做的时候可以按照我的要求,部分不覆盖,让ITO电极裸露呢?
5楼2012-11-22 10:14:47
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