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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 薄膜很不致密，脱落，请达人分析原因
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gladiater

木虫 (正式写手)

[交流] 薄膜很不致密，脱落，请达人分析原因 已有8人参与

真空蒸镀，金属基体度金属薄膜（薄膜材料很容易氧化的），比较厚，有几百微米，以前曾经做的比较好，不脱落。现在不知道什么原因，变得不致密，空洞多，易脱落。工艺参数没变，环境中的装置材料有些变化，难道是材料被蒸发了，进入了薄膜中？还是什么别的原因？困惑。
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1楼 2012-10-18 21:39:29
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mosleo

捐助贵宾 (小有名气)
★
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蒸发速率太快、薄膜厚度太厚应力不均匀，容易卷曲脱落。
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3楼2012-10-19 09:42:32
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 应该有这种可能啊 2012-10-19 08:02:01
信息量不充分。
基体表面不清洁？
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2楼2012-10-19 00:19:02
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Smallpeng

木虫 (正式写手)
估计是太厚了
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
4楼2012-10-19 13:39:34
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haodong1121

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
可能是应力问题，导致卷曲发生皱褶。
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梦想当学霸+大牛……
5楼2012-10-19 17:06:42
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gladiater

木虫 (正式写手)
可能有氧化物杂质上去了，想做个化学分析或电镜能谱分析，如果是氧化物，是不是对其它金属原子的扩散影响非常大啊？导致薄膜空洞多？
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6楼2012-10-19 21:34:40
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gladiater

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-19 00:19:02
信息量不充分。
基体表面不清洁？

表面是喷砂处理，且清洗过的，应该没什么问题
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7楼2012-10-19 21:36:09
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

静静
★
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是机器吗？腔体有没有重新跑过dummy片验证下呢，肯定要做一下基本的离子测试吧
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15501697107
8楼2012-10-23 17:00:03
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买酒白云边

金虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我倾向于没洗干净
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人造金刚石及其制品And周边设备
9楼2012-10-23 17:36:28
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gladiater

木虫 (正式写手)
我用砂纸打磨的也不行啊，同样的工艺，曾经行，现在不行了，怀疑是杂质的原因
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10楼2012-10-23 21:26:27
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