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薄膜很不致密，脱落，请达人分析原因 已有8人参与
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| 真空蒸镀，金属基体度金属薄膜（薄膜材料很容易氧化的），比较厚，有几百微米，以前曾经做的比较好，不脱落。现在不知道什么原因，变得不致密，空洞多，易脱落。工艺参数没变，环境中的装置材料有些变化，难道是材料被蒸发了，进入了薄膜中？还是什么别的原因？困惑。 |
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Smallpeng
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4楼2012-10-19 13:39:34