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gladiater

木虫 (正式写手)

[交流] 薄膜很不致密,脱落,请达人分析原因已有8人参与

真空蒸镀,金属基体度金属薄膜(薄膜材料很容易氧化的),比较厚,有几百微米,以前曾经做的比较好,不脱落。现在不知道什么原因,变得不致密,空洞多,易脱落。工艺参数没变,环境中的装置材料有些变化,难道是材料被蒸发了,进入了薄膜中?还是什么别的原因?困惑。
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gladiater

木虫 (正式写手)

可能有氧化物杂质上去了,想做个化学分析或电镜能谱分析,如果是氧化物,是不是对其它金属原子的扩散影响非常大啊?导致薄膜空洞多?
6楼2012-10-19 21:34:40
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gladiater

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-19 00:19:02
信息量不充分。
基体表面不清洁?

表面是喷砂处理,且清洗过的,应该没什么问题
7楼2012-10-19 21:36:09
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gladiater

木虫 (正式写手)

我用砂纸打磨的也不行啊,同样的工艺,曾经行,现在不行了,怀疑是杂质的原因
10楼2012-10-23 21:26:27
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