24小时热门版块排行榜    

查看: 1890  |  回复: 11

gladiater

木虫 (正式写手)

[交流] 薄膜很不致密,脱落,请达人分析原因 已有8人参与

真空蒸镀,金属基体度金属薄膜(薄膜材料很容易氧化的),比较厚,有几百微米,以前曾经做的比较好,不脱落。现在不知道什么原因,变得不致密,空洞多,易脱落。工艺参数没变,环境中的装置材料有些变化,难道是材料被蒸发了,进入了薄膜中?还是什么别的原因?困惑。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

mosleo

捐助贵宾 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
蒸发速率太快、薄膜厚度太厚应力不均匀,容易卷曲脱落。
3楼2012-10-19 09:42:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 应该有这种可能啊 2012-10-19 08:02:01
信息量不充分。
基体表面不清洁?
2楼2012-10-19 00:19:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Smallpeng

木虫 (正式写手)

估计是太厚了
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
4楼2012-10-19 13:39:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

haodong1121

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
可能是应力问题,导致卷曲发生皱褶。
梦想当学霸+大牛……
5楼2012-10-19 17:06:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gladiater

木虫 (正式写手)

可能有氧化物杂质上去了,想做个化学分析或电镜能谱分析,如果是氧化物,是不是对其它金属原子的扩散影响非常大啊?导致薄膜空洞多?
6楼2012-10-19 21:34:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gladiater

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-19 00:19:02
信息量不充分。
基体表面不清洁?

表面是喷砂处理,且清洗过的,应该没什么问题
7楼2012-10-19 21:36:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

静静


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
是机器吗?腔体有没有重新跑过dummy片验证下呢,肯定要做一下基本的离子测试吧
15501697107
8楼2012-10-23 17:00:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

买酒白云边

金虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我倾向于没洗干净
人造金刚石及其制品And周边设备
9楼2012-10-23 17:36:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gladiater

木虫 (正式写手)

我用砂纸打磨的也不行啊,同样的工艺,曾经行,现在不行了,怀疑是杂质的原因
10楼2012-10-23 21:26:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 gladiater 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
信息提示
请填处理意见