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薄膜很不致密,脱落,请达人分析原因 已有8人参与
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| 真空蒸镀,金属基体度金属薄膜(薄膜材料很容易氧化的),比较厚,有几百微米,以前曾经做的比较好,不脱落。现在不知道什么原因,变得不致密,空洞多,易脱落。工艺参数没变,环境中的装置材料有些变化,难道是材料被蒸发了,进入了薄膜中?还是什么别的原因?困惑。 |
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3楼2012-10-19 09:42:32
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