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gladiater

木虫 (正式写手)

[交流] 薄膜很不致密,脱落,请达人分析原因 已有8人参与

真空蒸镀,金属基体度金属薄膜(薄膜材料很容易氧化的),比较厚,有几百微米,以前曾经做的比较好,不脱落。现在不知道什么原因,变得不致密,空洞多,易脱落。工艺参数没变,环境中的装置材料有些变化,难道是材料被蒸发了,进入了薄膜中?还是什么别的原因?困惑。
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haodong1121

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
可能是应力问题,导致卷曲发生皱褶。
梦想当学霸+大牛……
5楼2012-10-19 17:06:42
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 应该有这种可能啊 2012-10-19 08:02:01
信息量不充分。
基体表面不清洁?
2楼2012-10-19 00:19:02
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mosleo

捐助贵宾 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
蒸发速率太快、薄膜厚度太厚应力不均匀,容易卷曲脱落。
3楼2012-10-19 09:42:32
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gladiater

木虫 (正式写手)

可能有氧化物杂质上去了,想做个化学分析或电镜能谱分析,如果是氧化物,是不是对其它金属原子的扩散影响非常大啊?导致薄膜空洞多?
6楼2012-10-19 21:34:40
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