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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 陶瓷材料 » 陶瓷材料如何进行刻蚀？
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颖雪雪雪

新虫 (初入文坛)

[求助] 陶瓷材料如何进行刻蚀？

请问各位大神，陶瓷材料要如何进行刻蚀呢？比如说PLZT，BST
我想刻蚀出几微米的槽或者孔。
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1楼 2012-10-17 11:10:14
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ciompman

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
tjcdp: 金币+1, 代楼主奖励 2012-12-09 19:35:08
绝对可以用干法刻蚀（RIE），只不过要加大刻蚀机功率，陶瓷难刻一些，并且处理的时候要小心，陶瓷很容易破碎！贵啊！
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6楼2012-10-18 11:08:00
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exciting1973

禁虫 (正式写手)
感谢参与，应助指数 +1
tt.yao: 编辑内容 2012-10-18 11:07
本帖内容被屏蔽
2楼2012-10-17 15:06:45
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颖雪雪雪

新虫 (初入文坛)
tt.yao: 编辑内容 2012-10-18 11:07
引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting1973 at 2012-10-17 15:06:45
可以用湿法腐蚀，。

陶瓷材料一般都很耐腐蚀的，能用湿法腐蚀吗？个人感觉不太行呢，只能用干法刻蚀

[ Last edited by tt.yao on 2012-10-18 at 11:07 ]
赞一下 回复此楼
3楼2012-10-17 15:52:18
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exciting1973

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
4楼2012-10-17 16:56:08
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