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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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颖雪雪雪

兑换贵宾

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[求助] 陶瓷材料如何进行刻蚀?

请问各位大神,陶瓷材料要如何进行刻蚀呢?比如说PLZT,BST
我想刻蚀出几微米的槽或者孔。
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exciting1973

超级版主

感谢参与,应助指数 +1
tt.yao: 编辑内容 2012-10-18 11:07
本帖内容被屏蔽

2楼2012-10-17 15:06:45
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颖雪雪雪

实习版主

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tt.yao: 编辑内容 2012-10-18 11:07
引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting1973 at 2012-10-17 15:06:45
可以用湿法腐蚀,。

陶瓷材料一般都很耐腐蚀的,能用湿法腐蚀吗?个人感觉不太行呢,只能用干法刻蚀

[ Last edited by tt.yao on 2012-10-18 at 11:07 ]
3楼2012-10-17 15:52:18
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exciting1973

管理员

本帖内容被屏蔽

4楼2012-10-17 16:56:08
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xqbeyond

实习版主

斗士

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【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
tjcdp: 金币+1, 代楼主奖励 2012-12-09 19:35:22
运用激光(laser)刻蚀
再牛逼似的梦想也挡不住傻逼似的坚持
5楼2012-10-18 10:41:55
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ciompman

兑换贵宾

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【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
tjcdp: 金币+1, 代楼主奖励 2012-12-09 19:35:08
绝对可以用干法刻蚀(RIE),只不过要加大刻蚀机功率,陶瓷难刻一些,并且处理的时候要小心,陶瓷很容易破碎!贵啊!
6楼2012-10-18 11:08:00
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zhaofengkuo

版主

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!


tjcdp: 金币+1, 代楼主奖励 2012-12-09 19:35:32
推荐使用激光,精度高,效率高、
7楼2012-10-18 17:30:03
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