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gaoxingjian

木虫 (小有名气)

[求助] 求助SEM和EDS

刚刚接触SEM和EDS，有几个问题想请教一下坛子里的大牛们。请多多指教。
第一个问题：在SEM的操作过程中，如果中途换scan voltage或者spot size是否需要重新focus？
第二个问题：在SEM的操作过程中，将扫描信号从二次电子换成背散射电子，是否需要重新focus？
第三个问题：在做EDS分析之前，是否应该把扫面信号换成背散射信号？
我用的电镜是JOEL 6490LV。
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1楼 2012-10-14 08:43:58
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way_1990419

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ant_512: 金币+1, 感谢应助！ 2012-10-16 16:38:02
gaoxingjian: 金币+2, ★有帮助, 谢谢应助！我这两天亲自上机摸索了一下，基本了解了。 2012-10-16 20:39:45
以前用过6460，应该差不多，不过记不太清了，第一、二个好像不需要，第三个需要，不然NORAN里没图像
赞一下 回复此楼
2楼2012-10-16 15:58:41
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