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gaoxingjian

木虫 (小有名气)

[求助] 求助SEM和EDS

刚刚接触SEM和EDS,有几个问题想请教一下坛子里的大牛们。请多多指教。
第一个问题:在SEM的操作过程中,如果中途换scan voltage或者spot size是否需要重新focus?
第二个问题:在SEM的操作过程中,将扫描信号从二次电子换成背散射电子,是否需要重新focus?
第三个问题:在做EDS分析之前,是否应该把扫面信号换成背散射信号?
我用的电镜是JOEL 6490LV。
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way_1990419

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ant_512: 金币+1, 感谢应助! 2012-10-16 16:38:02
gaoxingjian: 金币+2, 有帮助, 谢谢应助!我这两天亲自上机摸索了一下,基本了解了。 2012-10-16 20:39:45
以前用过6460,应该差不多,不过记不太清了,第一、二个好像不需要,第三个需要,不然NORAN里没图像
2楼2012-10-16 15:58:41
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