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duke123456

铁杆木虫 (文坛精英)

[求助] 关于SEM分析的请教,急!!!!!

请问SEM图能反应薄膜表面的粗糙度么?谢谢
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haibara0521

木虫 (正式写手)

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sem景深不太行,最好做afm

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2013-09-29 11:13:33
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普通回帖

橡胶人

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
SEM在一定程度上应该是能反应薄膜表面的粗糙度
2楼2013-09-29 11:12:32
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bryano

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
SEM断面测个厚度还行,平整度就算了,得AFM。
4楼2013-09-29 12:30:45
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马踏冰河

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
粗略看一下是可以的  原子力显微镜可能要好一些  不过不是要求很高的话  我认为SEM够了
5楼2013-09-29 12:38:20
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wl20098836

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
应该是AFM更为合适一些吧
6楼2013-09-29 15:39:38
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nihao000

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
粗糙度。。。。
你是要确切的数值吗?
SEM没有能力分辨Z轴的距离。只是有一种景深的感觉而已。

SEM不能测粗糙度。、
7楼2013-09-30 08:53:30
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duke123456

铁杆木虫 (文坛精英)

我是想通过SEM图来比较系列薄膜表面的粗糙程度,不需要知道粗糙度的确切值,请问从SEM图的比较中能比较出样品的粗糙程度么?谢谢
8楼2013-09-30 12:01:05
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shulxx

新虫 (小有名气)

你好,有专门的粗糙度测试仪。

[ 发自小木虫客户端 ]
9楼2013-09-30 13:41:08
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duke123456

铁杆木虫 (文坛精英)

惭愧的很,没什么经费,测试的费用很贵,最主要还有一点,做的薄膜样品在文章写完以后就不知道放到哪里去了,所以无法测粗糙度
10楼2013-09-30 20:08:25
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