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duke123456

铁杆木虫 (文坛精英)

[求助] 关于SEM分析的请教,急!!!!!

请问SEM图能反应薄膜表面的粗糙度么?谢谢
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wl20098836

至尊木虫 (文坛精英)

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应该是AFM更为合适一些吧
6楼2013-09-29 15:39:38
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橡胶人

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主

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SEM在一定程度上应该是能反应薄膜表面的粗糙度
2楼2013-09-29 11:12:32
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haibara0521

木虫 (正式写手)

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sem景深不太行,最好做afm

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2013-09-29 11:13:33
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bryano

木虫 (正式写手)

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SEM断面测个厚度还行,平整度就算了,得AFM。
4楼2013-09-29 12:30:45
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