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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 关于SEM分析的请教，急！！！！！
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duke123456

铁杆木虫 (文坛精英)

[求助] 关于SEM分析的请教，急！！！！！

请问SEM图能反应薄膜表面的粗糙度么？谢谢
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1楼 2013-09-29 11:06:35
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haibara0521

木虫 (正式写手)

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sem景深不太行，最好做afm

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3楼2013-09-29 11:13:33
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橡胶人

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主

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SEM在一定程度上应该是能反应薄膜表面的粗糙度
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2楼2013-09-29 11:12:32
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bryano

木虫 (正式写手)

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SEM断面测个厚度还行，平整度就算了，得AFM。
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4楼2013-09-29 12:30:45
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马踏冰河

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

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粗略看一下是可以的  原子力显微镜可能要好一些  不过不是要求很高的话  我认为SEM够了
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5楼2013-09-29 12:38:20
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wl20098836

至尊木虫 (文坛精英)

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应该是AFM更为合适一些吧
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6楼2013-09-29 15:39:38
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nihao000

铁杆木虫 (著名写手)

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粗糙度。。。。
你是要确切的数值吗？
SEM没有能力分辨Z轴的距离。只是有一种景深的感觉而已。

SEM不能测粗糙度。、
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7楼2013-09-30 08:53:30
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duke123456

铁杆木虫 (文坛精英)
我是想通过SEM图来比较系列薄膜表面的粗糙程度，不需要知道粗糙度的确切值，请问从SEM图的比较中能比较出样品的粗糙程度么？谢谢
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8楼2013-09-30 12:01:05
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shulxx

新虫 (小有名气)
你好，有专门的粗糙度测试仪。

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9楼2013-09-30 13:41:08
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duke123456

铁杆木虫 (文坛精英)
惭愧的很，没什么经费，测试的费用很贵，最主要还有一点，做的薄膜样品在文章写完以后就不知道放到哪里去了，所以无法测粗糙度
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10楼2013-09-30 20:08:25
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