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xingxingzi

新虫 (小有名气)

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[求助] 如何制备100nm左右的PMMA薄膜？已有1人参与

Sample Text
最近在制备100nm左右的PMMA薄膜，实验室没有现成买好的，所以自己把PMMA颗粒溶于甲苯中，发现很难溶解，请教各位如何制备PMMA溶液？
此外，请教一下各位旋涂工艺，旋涂完后烘烤温度等工艺？

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1楼 2012-10-08 21:02:21

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q627030174

银虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

引用回帖:

3楼: Originally posted by xingxingzi at 2012-10-09 08:48:36
嗯，谢谢你，我也在论文中看到90°烘烤一小时和170°烘烤3分钟，请问这有什么区别呢？还有一个疑问，就是用什么仪器测量纳米级的膜厚及薄膜的平整度？...

感觉烘烤温度不一样主要取决于溶剂的沸点把高于沸点时间短点低于沸点时间长点台阶仪椭偏仪可以测膜厚台阶仪可以看一条线上的厚度和平整度

14楼2019-04-18 19:45:34

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