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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 资源交流 » 硅片清洗
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hqh2012

新虫 (小有名气)

[求助] 硅片清洗

在不少文献中看到清洗硅片或玻璃片时都用到H2SO4 +H2O2配制的洗液，想请问一下高手，用这个洗液时用不用加热？若需要，为什么要加热？加热温度如何选定？谢谢！
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1楼 2012-09-26 16:52:34
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
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hqh2012: 金币+1, ★★★很有帮助, 谢谢！望继续帮助 2012-09-27 09:54:09
这是RCA清洗里的三号液，要加热，煮沸。这个主要是为了将有机沾污碳化或氧化，煮沸就是为了达到最佳的效果，液体可以不断的循环并冲击硅片表面，否则沾污下不来。
加热温度一般在120度以上，自己实验用热板或磁力搅拌啥的，调节温度到这个温度，然后控制着不断鼓泡沸腾，但不能太猛烈，容易出危险。

如果没经验，建议不要轻易试，我可以给你找个地方帮忙洗。
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2楼2012-09-26 18:19:10
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小昭好

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
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hqh2012: 金币+1, ★★★很有帮助, 谢谢 2012-09-27 09:54:39
用priaha洗液洗的过程是使硅片亲水的呀。配好后就是沸腾的，加热效果更好，煮沸几个小时就很好用了
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只有想不到，没有做不到
3楼2012-09-26 18:21:53
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sally208

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
hqh2012: 金币+1, ★★★很有帮助 2012-09-27 09:57:22
个人经验，放在水浴里加热即可，最好在通风厨内操作。
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4楼2012-09-26 19:37:30
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匿名

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5楼2012-09-26 23:11:15
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匿名

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6楼2012-09-27 09:01:57
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keanelijin

银虫 (小有名气)

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如果是要亲水话处理的话，还可以用铬酸洗液--->NaOH--->稀HNO3这样的步骤，不用加热，安全可靠
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努力工作，享受生活，在生活和工作中寻找平衡
7楼2012-09-27 09:25:08
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yoesyte

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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这个不是洗液，是使硅片表面羟基化用的、新配置的P溶液就是热的，再次使用时需要加热。一般清洗硅片，我们用的是先HF酸，然后王水。最后纯水清洗。
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8楼2012-09-27 09:48:15
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hqh2012

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 小昭好 at 2012-09-26 18:21:53
用priaha洗液洗的过程是使硅片亲水的呀。配好后就是沸腾的，加热效果更好，煮沸几个小时就很好用了

我们配置是在冰水浴条件下向硫酸中加入双氧水（搅拌），所以配种好的是冷却的。
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9楼2012-09-27 09:57:08
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hqh2012

新虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by keanelijin at 2012-09-27 09:25:08
如果是要亲水话处理的话，还可以用铬酸洗液--->NaOH--->稀HNO3这样的步骤，不用加热，安全可靠

想一步做到清洁和亲水。
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10楼2012-09-27 09:58:45
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