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硅片清洗
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| 在不少文献中看到清洗硅片或玻璃片时都用到H2SO4 +H2O2配制的洗液,想请问一下高手,用这个洗液时用不用加热?若需要,为什么要加热?加热温度如何选定?谢谢! |
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