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hqh2012

新虫 (小有名气)

[求助] 硅片清洗

在不少文献中看到清洗硅片或玻璃片时都用到H2SO4 +H2O2配制的洗液,想请问一下高手,用这个洗液时用不用加热?若需要,为什么要加热?加热温度如何选定?谢谢!
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yswyx

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感谢参与,应助指数 +1
hqh2012: 金币+1, ★★★很有帮助, 谢谢!望继续帮助 2012-09-27 09:54:09
这是RCA清洗里的三号液,要加热,煮沸。这个主要是为了将有机沾污碳化或氧化,煮沸就是为了达到最佳的效果,液体可以不断的循环并冲击硅片表面,否则沾污下不来。
加热温度一般在120度以上,自己实验用热板或磁力搅拌啥的,调节温度到这个温度,然后控制着不断鼓泡沸腾,但不能太猛烈,容易出危险。

如果没经验,建议不要轻易试,我可以给你找个地方帮忙洗。
2楼2012-09-26 18:19:10
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小昭好

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


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hqh2012: 金币+1, ★★★很有帮助, 谢谢 2012-09-27 09:54:39
用priaha洗液洗的过程是使硅片亲水的呀。配好后就是沸腾的,加热效果更好,煮沸几个小时就很好用了
只有想不到,没有做不到
3楼2012-09-26 18:21:53
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sally208

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
hqh2012: 金币+1, ★★★很有帮助 2012-09-27 09:57:22
个人经验,放在水浴里加热即可,最好在通风厨内操作。
4楼2012-09-26 19:37:30
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匿名

用户注销 (文坛精英)

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5楼2012-09-26 23:11:15
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匿名

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6楼2012-09-27 09:01:57
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keanelijin

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果是要亲水话处理的话,还可以用铬酸洗液--->NaOH--->稀HNO3这样的步骤,不用加热,安全可靠
努力工作,享受生活,在生活和工作中寻找平衡
7楼2012-09-27 09:25:08
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yoesyte

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这个不是洗液,是使硅片表面羟基化用的、新配置的P溶液就是热的,再次使用时需要加热。一般清洗硅片,我们用的是先HF酸,然后王水。最后纯水清洗。
8楼2012-09-27 09:48:15
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hqh2012

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 小昭好 at 2012-09-26 18:21:53
用priaha洗液洗的过程是使硅片亲水的呀。配好后就是沸腾的,加热效果更好,煮沸几个小时就很好用了

我们配置是在冰水浴条件下向硫酸中加入双氧水(搅拌),所以配种好的是冷却的。
9楼2012-09-27 09:57:08
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hqh2012

新虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by keanelijin at 2012-09-27 09:25:08
如果是要亲水话处理的话,还可以用铬酸洗液--->NaOH--->稀HNO3这样的步骤,不用加热,安全可靠

想一步做到清洁和亲水。
10楼2012-09-27 09:58:45
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