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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 资源交流 » 硅片清洗
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
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7楼: Originally posted by keanelijin at 2012-09-27 09:25:08
如果是要亲水话处理的话，还可以用铬酸洗液--->NaOH--->稀HNO3这样的步骤，不用加热，安全可靠

碱液是腐蚀硅片的，短时间的浸泡也会让硅片表面粗糙，这样洗太费片子了。而且Na＋对硅片来说是沾污，以后很难去掉的。这个清洗方法的片子如果进了别的超净间，会很害人的，很可能出事故的。
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11楼2012-09-27 10:02:25
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
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4楼: Originally posted by sally208 at 2012-09-26 19:37:30
个人经验，放在水浴里加热即可，最好在通风厨内操作。

水浴也危险，而且温度差点。最好用机器洗。
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12楼2012-09-27 10:03:46
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hqh2012

新虫 (小有名气)
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11楼: Originally posted by yswyx at 2012-09-27 10:02:25
碱液是腐蚀硅片的，短时间的浸泡也会让硅片表面粗糙，这样洗太费片子了。而且Na＋对硅片来说是沾污，以后很难去掉的。这个清洗方法的片子如果进了别的超净间，会很害人的，很可能出事故的。...

13楼2012-09-27 10:09:24
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hqh2012

新虫 (小有名气)
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12楼: Originally posted by yswyx at 2012-09-27 10:03:46
水浴也危险，而且温度差点。最好用机器洗。...

80度可否？
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14楼2012-09-27 10:09:55
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
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8楼: Originally posted by yoesyte at 2012-09-27 09:48:15
这个不是洗液，是使硅片表面羟基化用的、新配置的P溶液就是热的，再次使用时需要加热。一般清洗硅片，我们用的是先HF酸，然后王水。最后纯水清洗。

HF是去表面自然氧化层的，王水这种东西能不用就不用。三号液的表面羟基化只是附带作用，而且起作用的主要是H2O2。而不加H2O2，仅仅浓硫酸沸腾清洗的话，也是可以达到去除有机沾污的作用的。
标准的RCA方法的流程是3321，然后再用QDR洗20遍，要求高的用兆声槽再来一次。最后氮气帘吹干出槽，进甩干机甩干。
版上的网友经常提到丙酮＋超声的方法，这个方法只能用来做很初级的清洗，其实是很脏的。丙酮只能去除一定的有机沾污，稍微顽固一点儿就不行了，而超声是只能去除大颗粒的，10um以下的颗粒超声的作用十分有限，对1um以下的颗粒基本没用。

如果有机会，尽量用机器洗。
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15楼2012-09-27 10:12:31
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
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6楼: Originally posted by fbqrdzs at 2012-09-27 09:01:57
我的做法相对简单，先用丙酮清洗超声1分钟以上清洗灰尘，然后再用酒精清洗丙酮，最后用清水清洗酒精。

这个方法是最不可取的。
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16楼2012-09-27 10:13:31
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yoesyte

铁虫 (正式写手)
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15楼: Originally posted by yswyx at 2012-09-27 10:12:31
HF是去表面自然氧化层的，王水这种东西能不用就不用。三号液的表面羟基化只是附带作用，而且起作用的主要是H2O2。而不加H2O2，仅仅浓硫酸沸腾清洗的话，也是可以达到去除有机沾污的作用的。
标准的RCA方法的流程是 ...

不是附带作用，我们要在硅片上组装纳米粒子，羟基化是主要目的
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17楼2012-09-27 10:40:21
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小昭好

金虫 (小有名气)
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9楼: Originally posted by hqh2012 at 2012-09-27 09:57:08
我们配置是在冰水浴条件下向硫酸中加入双氧水（搅拌），所以配种好的是冷却的。...

不要用冰水浴啊，常温下在通风橱里进行，往浓硫酸加双氧水和双氧水加浓硫酸是一样效果的，都是沸腾的。然后放到水浴里沸腾煮几个小时就行了。
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只有想不到，没有做不到
18楼2012-09-27 10:59:06
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
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17楼: Originally posted by yoesyte at 2012-09-27 10:40:21
不是附带作用，我们要在硅片上组装纳米粒子，羟基化是主要目的...

这儿说清洗呢
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19楼2012-09-27 11:19:16
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
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14楼: Originally posted by hqh2012 at 2012-09-27 10:09:55
80度可否？...

行啊，效果差的多。
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20楼2012-09-27 11:20:37
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