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guochou

银虫 (小有名气)

[求助] 掩膜版是否可以鉴定做过光刻?

各位朋友:
     本人想鉴定一块掩膜版是否之前做过曝光工艺,请问,能用什么方法可以鉴定一块新的掩膜版是否被光刻污染?谢谢!
急急急急~
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

建议你用XRF看看表面的元素成分,如果CHO的含量很高的话,那么就肯定用过了。不过可能测量的价格比较贵吧。

如果你怕污染,把掩模版洗一遍就是了。
2楼2012-09-18 19:18:50
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