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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 等离子发射光谱
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xiaohunhun

木虫 (著名写手)

珊瑚岛混混,小元家老末

[求助] 等离子发射光谱

我想监控磁控溅射腔室内部的发射光谱，但是我不知道怎么确定检测的光谱，以Cu为例，我在一篇文献中看见了他的发射光谱范围为：Cu I 324．754nm，Cu I 327.396nm，Cu I 333.784nm，Cu I 353.039nm（磁控溅射腔室）。其光谱为图1：
而在另外一篇文献中看到其监控的特征光谱不是这些，当然那份文献的内容是激光激发的发射光谱，见图2
我可以理解在不同的能量驱动下，原子跃迁的能级不同所以光谱不同。
但是我的问题来了，由于我想监控我现有设备（磁控溅射腔室）的Cu的等离子发射光谱，我怎么确认哪一条光谱是Cu的？谁有Cu的全谱线？
哪位高手能告诉我方法啊？

图1.jpg



图2.jpg
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1.天天大脑风暴很重要。2.这个世界最可怕的不是很多人比你牛逼，而是比你牛逼的人还比你努力！3.If you don't run fast,you will get trampled
1楼 2012-09-04 22:05:16
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
个人认为，你的理解没错！就是不同的能量驱动，Cu的特征谱也不同！

好像有专门的元素特征光谱的数据库，明天找人问问，或者你先在网上搜搜！
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

xiaohunhun
趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
2楼2012-09-05 02:02:24
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xiaohunhun

木虫 (著名写手)

珊瑚岛混混,小元家老末
送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by leongoall at 2012-09-05 02:02:24
个人认为，你的理解没错！就是不同的能量驱动，Cu的特征谱也不同！

好像有专门的元素特征光谱的数据库，明天找人问问，或者你先在网上搜搜！

请斑竹帮忙费心问一下，要是没有特征谱，我完全不知道接下来怎么做，谢谢啦。
网上我这边还没有搜到。。。
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1.天天大脑风暴很重要。2.这个世界最可怕的不是很多人比你牛逼，而是比你牛逼的人还比你努力！3.If you don't run fast,you will get trampled
3楼2012-09-05 08:07:55
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ychguang

禁虫 (正式写手)
★
感谢参与，应助指数 +1
xiaohunhun: 金币+1, ★★★很有帮助, 谢谢顶贴，人人有份 2012-09-06 23:20:19
本帖内容被屏蔽
4楼2012-09-05 08:16:34
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xiaohunhun

木虫 (著名写手)

珊瑚岛混混,小元家老末
引用回帖:
4楼: Originally posted by ychguang at 2012-09-05 08:16:34
单纯的原子发射光谱应该是波长确定的，NIST网站上可以查

帅哥，能费点事介绍怎么查么？
小弟我对光谱不了解。又是英文的网站，求指点啊。
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1.天天大脑风暴很重要。2.这个世界最可怕的不是很多人比你牛逼，而是比你牛逼的人还比你努力！3.If you don't run fast,you will get trampled
5楼2012-09-05 12:22:57
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xiaohunhun

木虫 (著名写手)

珊瑚岛混混,小元家老末
正如版主所说腔室内部等离子体里面肯定是混合物，一般来说只会有Cu, Al以及Ar气三种材料，至于其他的靶材或者设备本身元素，暂时还不考虑检测，就是这个环境下，我主要想探测Cu元素。
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1.天天大脑风暴很重要。2.这个世界最可怕的不是很多人比你牛逼，而是比你牛逼的人还比你努力！3.If you don't run fast,you will get trampled
6楼2012-09-05 15:36:39
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ychguang

禁虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
xiaohunhun: 金币+10, ★★★很有帮助, 先给这么多，呵呵 2012-09-06 20:15:52
本帖内容被屏蔽
7楼2012-09-06 09:19:29
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569917801

木虫 (著名写手)

师傅被妖怪抓走的大师兄

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xiaohunhun: 金币+10, ★★★很有帮助, 好吧，既然帅哥这么确认，先提一下试试，也希望其他虫友认为对的话支持这个解答一下，让我更有底气啊。呵呵 2012-09-06 23:18:54
1、由于放电的条件（气压，功率，甚至腔室等）不同，原子的谱线会不一样，这时候，我们一般看比较权威文献上用的是那条，一般是用最强的谱线。我不是做这个的，但我肯定关于Cu的文章很多。
2、楼上说的是正解NIST数据库，包含所有原子的谱线。
但是我认为你还是先用光谱仪把整个波长扫一遍，完了和文献里面的峰进行对照。这个应该省点事。
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是骚年，又太年少；有故事，又有世故。爱科学，也分学科；爱历史，也爱事理。想实现，却又现实；要动感，却常
8楼2012-09-06 12:14:42
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smoon0506

木虫 (正式写手)

大师

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
xiaohunhun: 金币+1, ★★★很有帮助, 谢谢顶贴，人人有份 2012-09-06 23:20:46
好像有专门的元素特征光谱的数据库，或者看一本叫做光谱学的书，里面好像有这方面的东西。
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每天都学习一点点，每天都进步一点点。
9楼2012-09-06 12:24:37
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xiaohunhun

木虫 (著名写手)

珊瑚岛混混,小元家老末
引用回帖:
8楼: Originally posted by 569917801 at 2012-09-06 12:14:42
1、由于放电的条件（气压，功率，甚至腔室等）不同，原子的谱线会不一样，这时候，我们一般看比较权威文献上用的是那条，一般是用最强的谱线。我不是做这个的，但我肯定关于Cu的文章很多。
2、楼上说的是正解NIST数 ...

先用光谱仪把整个波长扫一遍，完了和文献或者NIST里面的峰进行对照。
这个是实验中可以采用的方法么？这么做一般都会成功吧（就是怎么说都能找到几条特征谱线，就是费事点）？
我这个还是前期论证，如果这样可以的话，我可以向上面反映试一下的。
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1.天天大脑风暴很重要。2.这个世界最可怕的不是很多人比你牛逼，而是比你牛逼的人还比你努力！3.If you don't run fast,you will get trampled
10楼2012-09-06 20:10:14
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