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xiaohunhun

木虫 (著名写手)

珊瑚岛混混,小元家老末

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[求助] 等离子发射光谱

我想监控磁控溅射腔室内部的发射光谱，但是我不知道怎么确定检测的光谱，以Cu为例，我在一篇文献中看见了他的发射光谱范围为：Cu I 324．754nm，Cu I 327.396nm，Cu I 333.784nm，Cu I 353.039nm（磁控溅射腔室）。其光谱为图1：
而在另外一篇文献中看到其监控的特征光谱不是这些，当然那份文献的内容是激光激发的发射光谱，见图2
我可以理解在不同的能量驱动下，原子跃迁的能级不同所以光谱不同。
但是我的问题来了，由于我想监控我现有设备（磁控溅射腔室）的Cu的等离子发射光谱，我怎么确认哪一条光谱是Cu的？谁有Cu的全谱线？
哪位高手能告诉我方法啊？

图1.jpg

图2.jpg

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1.天天大脑风暴很重要。2.这个世界最可怕的不是很多人比你牛逼，而是比你牛逼的人还比你努力！3.If you don't run fast,you will get trampled

1楼 2012-09-04 22:05:16

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569917801

木虫 (著名写手)

师傅被妖怪抓走的大师兄

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xiaohunhun: 金币+10, ★★★很有帮助, 好吧，既然帅哥这么确认，先提一下试试，也希望其他虫友认为对的话支持这个解答一下，让我更有底气啊。呵呵 2012-09-06 23:18:54

1、由于放电的条件（气压，功率，甚至腔室等）不同，原子的谱线会不一样，这时候，我们一般看比较权威文献上用的是那条，一般是用最强的谱线。我不是做这个的，但我肯定关于Cu的文章很多。
2、楼上说的是正解NIST数据库，包含所有原子的谱线。
但是我认为你还是先用光谱仪把整个波长扫一遍，完了和文献里面的峰进行对照。这个应该省点事。