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xiaohunhun木虫 (著名写手)
珊瑚岛混混,小元家老末
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等离子发射光谱
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我想监控磁控溅射腔室内部的发射光谱，但是我不知道怎么确定检测的光谱，以Cu为例，我在一篇文献中看见了他的发射光谱范围为：Cu I 324．754nm，Cu I 327.396nm，Cu I 333.784nm，Cu I 353.039nm（磁控溅射腔室）。其光谱为图1： 而在另外一篇文献中看到其监控的特征光谱不是这些，当然那份文献的内容是激光激发的发射光谱，见图2 我可以理解在不同的能量驱动下，原子跃迁的能级不同所以光谱不同。 但是我的问题来了，由于我想监控我现有设备（磁控溅射腔室）的Cu的等离子发射光谱，我怎么确认哪一条光谱是Cu的？谁有Cu的全谱线？ 哪位高手能告诉我方法啊？  图1.jpg  图2.jpg |
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569917801
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【答案】应助回帖
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xiaohunhun: 金币+10, ★★★很有帮助, 好吧，既然帅哥这么确认，先提一下试试，也希望其他虫友认为对的话支持这个解答一下，让我更有底气啊。呵呵 2012-09-06 23:18:54
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1、由于放电的条件（气压，功率，甚至腔室等）不同，原子的谱线会不一样，这时候，我们一般看比较权威文献上用的是那条，一般是用最强的谱线。我不是做这个的，但我肯定关于Cu的文章很多。 2、楼上说的是正解NIST数据库，包含所有原子的谱线。 但是我认为你还是先用光谱仪把整个波长扫一遍，完了和文献里面的峰进行对照。这个应该省点事。 |
8楼2012-09-06 12:14:42
leongoall
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个人认为，你的理解没错！就是不同的能量驱动，Cu的特征谱也不同！ 好像有专门的元素特征光谱的数据库，明天找人问问，或者你先在网上搜搜！ |
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xiaohunhun2楼2012-09-05 02:02:24
xiaohunhun
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3楼2012-09-05 08:07:55
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4楼2012-09-05 08:16:34
