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xiaohunhun

木虫 (著名写手)

珊瑚岛混混,小元家老末

[求助] 等离子发射光谱

我想监控磁控溅射腔室内部的发射光谱,但是我不知道怎么确定检测的光谱,以Cu为例,我在一篇文献中看见了他的发射光谱范围为:Cu I 324.754nm,Cu I 327.396nm,Cu I 333.784nm,Cu I 353.039nm(磁控溅射腔室)。其光谱为图1:
而在另外一篇文献中看到其监控的特征光谱不是这些,当然那份文献的内容是激光激发的发射光谱,见图2
我可以理解在不同的能量驱动下,原子跃迁的能级不同所以光谱不同。
但是我的问题来了,由于我想监控我现有设备(磁控溅射腔室)的Cu的等离子发射光谱,我怎么确认哪一条光谱是Cu的?谁有Cu的全谱线?
哪位高手能告诉我方法啊?

图1.jpg



图2.jpg
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569917801

木虫 (著名写手)

师傅被妖怪抓走的大师兄

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
xiaohunhun: 金币+10, ★★★很有帮助, 好吧,既然帅哥这么确认,先提一下试试,也希望其他虫友认为对的话支持这个解答一下,让我更有底气啊。呵呵 2012-09-06 23:18:54
1、由于放电的条件(气压,功率,甚至腔室等)不同,原子的谱线会不一样,这时候,我们一般看比较权威文献上用的是那条,一般是用最强的谱线。我不是做这个的,但我肯定关于Cu的文章很多。
2、楼上说的是正解NIST数据库,包含所有原子的谱线。
但是我认为你还是先用光谱仪把整个波长扫一遍,完了和文献里面的峰进行对照。这个应该省点事。
是骚年,又太年少;有故事,又有世故。爱科学,也分学科;爱历史,也爱事理。想实现,却又现实;要动感,却常
8楼2012-09-06 12:14:42
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查看全部 11 个回答

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

个人认为,你的理解没错!就是不同的能量驱动,Cu的特征谱也不同!

好像有专门的元素特征光谱的数据库,明天找人问问,或者你先在网上搜搜!

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

趁年轻,多折腾!曾年轻,折腾过?!
2楼2012-09-05 02:02:24
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xiaohunhun

木虫 (著名写手)

珊瑚岛混混,小元家老末

送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by leongoall at 2012-09-05 02:02:24
个人认为,你的理解没错!就是不同的能量驱动,Cu的特征谱也不同!

好像有专门的元素特征光谱的数据库,明天找人问问,或者你先在网上搜搜!

请斑竹帮忙费心问一下,要是没有特征谱,我完全不知道接下来怎么做,谢谢啦。
网上我这边还没有搜到。。。
1.天天大脑风暴很重要。2.这个世界最可怕的不是很多人比你牛逼,而是比你牛逼的人还比你努力!3.If you don't run fast,you will get trampled
3楼2012-09-05 08:07:55
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ychguang

禁虫 (正式写手)


感谢参与,应助指数 +1
xiaohunhun: 金币+1, ★★★很有帮助, 谢谢顶贴,人人有份 2012-09-06 23:20:19
本帖内容被屏蔽

4楼2012-09-05 08:16:34
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