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xiaohunhun木虫 (著名写手)
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等离子发射光谱
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我想监控磁控溅射腔室内部的发射光谱，但是我不知道怎么确定检测的光谱，以Cu为例，我在一篇文献中看见了他的发射光谱范围为：Cu I 324．754nm，Cu I 327.396nm，Cu I 333.784nm，Cu I 353.039nm（磁控溅射腔室）。其光谱为图1： 而在另外一篇文献中看到其监控的特征光谱不是这些，当然那份文献的内容是激光激发的发射光谱，见图2 我可以理解在不同的能量驱动下，原子跃迁的能级不同所以光谱不同。 但是我的问题来了，由于我想监控我现有设备（磁控溅射腔室）的Cu的等离子发射光谱，我怎么确认哪一条光谱是Cu的？谁有Cu的全谱线？ 哪位高手能告诉我方法啊？  图1.jpg  图2.jpg |
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xiaohunhun
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个人认为，你的理解没错！就是不同的能量驱动，Cu的特征谱也不同！ 好像有专门的元素特征光谱的数据库，明天找人问问，或者你先在网上搜搜！ |
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xiaohunhun2楼2012-09-05 02:02:24
xiaohunhun
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