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shucaijing

铜虫 (正式写手)

[求助] 如何在硅片上长300nm的Si02层

如何在硅片上长300nm的Si02层?我们组有真空镀膜机 但需要很高的温度 且时间长 我用其他的什么方法可以得到那?
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Comeon,Baby!!!
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businiao_123

铁虫 (初入文坛)

用SiO2靶材(用做绝缘层) 射频溅射时候需要在通入Ar的同时通入O2, O2的通入量如何确定呢??

如果不通入氧气,沉积的二氧化硅层氧含量偏低的话对绝缘性能有多大的影响啊??

有什么溅射时候不用其他反应气体的绝缘靶材呢??

求教。。。  谢谢了。。
13楼2012-12-31 09:48:34
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