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zlywm新虫 (初入文坛)
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[求助]
求助玻璃表面或者硅片表面磁控溅射一层CeO2的工艺参数
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求助，CeO2在玻璃或者硅片上磁控溅射的工艺参数，本底真空度，溅射气体成分，溅射气压，溅射功率，建设时间或者时间与厚度的关系。还有后期处理，表面颜色，是否结晶，听说结晶的膜是紫红色的。求大家帮帮忙，有谁了解的，给篇论文，或者直接给参数啊。谢了。急用。 [ Last edited by zlywm on 2012-8-7 at 23:41 ] |
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