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氧化钒热敏薄膜电阻问题
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| 我是用反应磁控溅射法制备VOx薄膜的，想问一下做VOx热敏薄膜的同学们，大家做出的膜的电阻大概是多少，退火处理后阻止的变化趋势，我做出的薄膜退火空气气氛退火30分钟阻值下降了两个数量级，这正常么，阻值降低的主要原因是什么 |
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