版块导航: 正在加载中...

客户端APP下载

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

>论坛更新日志 (4196)
>虫友互识 (409)
>学术会议 (300)
>基金申请 (244)
>文献求助 (225)
>导师招生 (159)
>休闲灌水 (114)
>论文投稿 (100)
>硕博家园 (68)
>博后之家 (55)
>招聘信息布告栏 (52)
>考博 (50)
>论文道贺祈福 (46)
>教师之家 (32)
>公派出国 (30)
>考研 (30)

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

hanxiao242

银虫 (正式写手)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 360.8
散金: 202
红花: 3
沙发: 2
帖子: 962
在线: 376.8小时
虫号: 1056123
注册: 2010-07-12
专业: 无机材料化学

[交流] SF6刻蚀硅片和玻璃片，那个更快？已有7人参与

ICP系统中，SF6刻蚀硅片和玻璃片，同样条件下，刻蚀硅片是不是比玻璃快的多？

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜材料的表征

薄膜材料和器件制备

» 猜你喜欢

稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合已经有6人回复
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合已经有0人回复
金属材料论文润色/翻译怎么收费? 已经有138人回复
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合已经有0人回复
26 届青岛大学纺织化学与染整工程硕士（液体纳米分散染料方向）求申博建议已经有4人回复
26 届青岛大学纺织化学与染整工程（液体纳米分散染料）求浙理工纺织 / 材料博导名额已经有1人回复
敢问Acta Pharmaceutica Sinica B with Editor 三周了，能是什么情况？已经有0人回复
求助 CeO2 Fe3O4 Cu2S CoFe2O4 标准卡 Jade 导出的数据已经有0人回复
求助一篇MEMS散热器件文献已经有0人回复
材化专业SCI论文（职称评定）已经有0人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

1楼 2012-07-19 10:17:56

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

haerbin06

铜虫 (小有名气)

应助: 8 (幼儿园)
金币: 148.9
散金: 3
红花: 1
帖子: 128
在线: 512.9小时
虫号: 974142
注册: 2010-03-17
性别: GG
专业: 微/纳机械系统

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

玻璃等同sio2, sio2 to si, selectivity: 1:200

我很好

7楼2012-07-20 16:11:17

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

查看全部 8 个回答

105207759a

银虫 (小有名气)

应助: 18 (小学生)
金币: 64.2
散金: 80
红花: 5
帖子: 156
在线: 57.4小时
虫号: 1893757
注册: 2012-07-15
性别: MM
专业: 化学动力学

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

那你就看SF6与SI的化学反应速率快，还是与SIO2的化学反应速率快。
你可以查看各自反应的阿累尼乌斯方程。
比较他们的化学反应速率。

小隐隐于野，大隐隐于市

2楼2012-07-19 10:19:57

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

hyliu0203

木虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 1676.3
散金: 20
红花: 20
帖子: 634
在线: 385.8小时
虫号: 437786
注册: 2007-09-06
专业: 金属材料的力学行为

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

玻璃成分是SiO2，ICP中，F离子对Si（无掺杂）在室温下蚀刻速率比SiO2选择比大约40:1；但可以通过加入一些其他其他如：CxFy调整速率的差

8楼2013-03-01 16:49:25

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

查看全部 8 个回答

最具人气热帖推荐 [查看全部]		作者	回/看	最后发表

	[基金申请] 2026国自然放榜时间 +3	布布和一二 2026-08-08	3/150	2026-08-08 18:15 by Lightingo
	[基金申请] 国基金的申报应该改成非等额制，评价高的钱多评价低的钱少，但是增加资助率 +7	a089 2026-08-07	7/350	2026-08-08 18:05 by gltch
	[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3	qTvzQBRAHjCi 2026-08-07	4/200	2026-08-08 17:22 by oEVWOejN9taj
	[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3	qTvzQBRAHjCi 2026-08-07	4/200	2026-08-08 17:19 by oEVWOejN9taj
	[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3	qTvzQBRAHjCi 2026-08-07	5/250	2026-08-08 16:47 by oEVWOejN9taj
	[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3	Vi50GxzrFcSG 2026-08-07	4/200	2026-08-08 16:27 by oEVWOejN9taj
	[考博] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3	Vi50GxzrFcSG 2026-08-07	4/200	2026-08-08 16:22 by oEVWOejN9taj
	[基金申请] fileCode有新解读？ +9	Tide man 2026-08-08	17/850	2026-08-08 14:56 by archvillain
	[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3	HEQlVqMTIA7d 2026-08-07	6/300	2026-08-08 14:42 by oEVWOejN9taj
	[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3	HEQlVqMTIA7d 2026-08-07	5/250	2026-08-08 14:22 by oEVWOejN9taj
	[论文投稿] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3	KXLV3nuBVBY7 2026-08-07	6/300	2026-08-08 14:01 by oEVWOejN9taj
	[基金申请] 关于代码变化问题，想知道的进来 +11	且听虎啸 2026-08-07	14/700	2026-08-08 12:50 by 布布和一二
	[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3	Vi50GxzrFcSG 2026-08-07	6/300	2026-08-08 10:19 by 3OOjAIS77qg2
	[基金申请] 基金中了 +14	laoda193707 2026-08-06	14/700	2026-08-08 00:23 by 实验小白ha
	[基金申请] filecode +8	布布和一二 2026-08-06	11/550	2026-08-06 20:41 by tangpu318
	[基金申请] 求各位大神看下 100+6	hpkpkpkp 2026-08-05	33/1650	2026-08-06 14:49 by zhiyanjiang
	[基金申请] 好消息？这个有何含义？？？ +8	Tide man 2026-08-05	10/500	2026-08-05 16:14 by xmuxiaoyu
	[考博] 【2027博士申请】纳米药物递送方向 20+3	13586093586 2026-08-03	4/200	2026-08-05 09:59 by lfy8008
	[基金申请] 纯娱乐，不喜欢勿喷 +7	Tide man 2026-08-04	10/500	2026-08-04 15:10 by loufangrui
	[基金申请] 什么时候能放榜呀？ +3	Jacob678 2026-08-03	3/150	2026-08-03 16:14 by gltch