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hanxiao242

银虫 (正式写手)

[交流] SF6刻蚀硅片和玻璃片,那个更快? 已有7人参与

ICP系统中,SF6刻蚀硅片和玻璃片,同样条件下,刻蚀硅片是不是比玻璃快的多?
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haerbin06

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
玻璃等同sio2, sio2 to si, selectivity: 1:200
我很好
7楼2012-07-20 16:11:17
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105207759a

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
那你就看SF6与SI的化学反应速率快,还是与SIO2的化学反应速率快。
你可以查看各自反应的阿累尼乌斯方程。
比较他们的化学反应速率。
小隐隐于野,大隐隐于市
2楼2012-07-19 10:19:57
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hyliu0203

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
玻璃成分是SiO2,ICP中,F离子对Si(无掺杂)在室温下蚀刻速率比SiO2选择比大约40:1;但可以通过加入一些其他其他如:CxFy调整速率的差
8楼2013-03-01 16:49:25
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