24小时热门版块排行榜    

查看: 2377  |  回复: 7

hanxiao242

银虫 (正式写手)

[交流] SF6刻蚀硅片和玻璃片,那个更快? 已有7人参与

ICP系统中,SF6刻蚀硅片和玻璃片,同样条件下,刻蚀硅片是不是比玻璃快的多?
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜材料的表征 薄膜材料和器件制备

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

105207759a

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
那你就看SF6与SI的化学反应速率快,还是与SIO2的化学反应速率快。
你可以查看各自反应的阿累尼乌斯方程。
比较他们的化学反应速率。
小隐隐于野,大隐隐于市
2楼2012-07-19 10:19:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

科研--白痴

木虫 (初入文坛)

3楼2012-07-19 14:24:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

苏惜不若

木虫 (著名写手)

应该是吧。
还想怎样折磨我?
4楼2012-07-19 18:20:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


5楼2012-07-19 20:24:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cg_dan

金虫 (正式写手)

硅片快
6楼2012-07-19 21:40:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

haerbin06

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
玻璃等同sio2, sio2 to si, selectivity: 1:200
我很好
7楼2012-07-20 16:11:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hyliu0203

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
玻璃成分是SiO2,ICP中,F离子对Si(无掺杂)在室温下蚀刻速率比SiO2选择比大约40:1;但可以通过加入一些其他其他如:CxFy调整速率的差
8楼2013-03-01 16:49:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 hanxiao242 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +37 医学老男孩 2026-08-13 87/4350 2026-08-18 06:35 by 医学老男孩
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +4 且听虎啸 2026-08-17 5/250 2026-08-18 00:49 by 蔡棒棒菂
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +6 angus9576 2026-08-17 11/550 2026-08-17 23:57 by angus9576
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +8 wangze12014 2026-08-14 10/500 2026-08-17 17:05 by xter9665
[基金申请] 时间戳变了,能看出什么问题? +4 基诺咪客 2026-08-17 4/200 2026-08-17 16:10 by Vivilian
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜? +12 Ldrop2023 2026-08-13 15/750 2026-08-17 15:02 by 小豌豆_发芽
[基金申请] 时间戳又变了8-15 +13 archvillain 2026-08-15 25/1250 2026-08-16 20:13 by zhaosm1982
[基金申请] 2027广东省杰青 +3 奶牛小黑 2026-08-15 6/300 2026-08-16 20:07 by 奶牛小黑
[基金申请] 快农历七夕节了,轻松一下,男人悄悄话,女施主请不要进来。 +3 Tide man 2026-08-14 3/150 2026-08-16 17:47 by jurkat.1640
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +7 启萌科技 2026-08-12 26/1300 2026-08-16 12:35 by 启萌科技
[基金申请] 有时候,自然基金真的不能太认真 (我的申报经验) +10 majunge000 2026-08-11 12/600 2026-08-16 08:18 by xli1984
[精细化工] 招聘 金属平磨液,抛光液研发工程师 +3 小天0311 2026-08-14 3/150 2026-08-16 07:31 by H9PLUS
[基金申请] 各位道友,我要去昆明玩几天,回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果? +4 yuleib84 2026-08-11 4/200 2026-08-14 23:05 by lfy8008
[基金申请] 重要来源:本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] 不应该看fileCode +7 且听虎啸 2026-08-12 9/450 2026-08-13 14:27 by flydreamws
[基金申请] Filecode 又变了,巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
[基金申请] 分享一下我之前已中青C的计划书的filecode +4 布布和一二 2026-08-11 5/250 2026-08-13 12:56 by cratir
[基金申请] 2019年青年基金涵评意见,大家看看几个A,几个B? +11 Tide man 2026-08-11 11/550 2026-08-13 07:35 by 撸猫猫
[基金申请] 什么时候出结果,有咨询渠道??? +3 Tide man 2026-08-11 3/150 2026-08-11 17:54 by kudofaye
信息提示
请填处理意见