24小时热门版块排行榜    

查看: 2035  |  回复: 7
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

hanxiao242

银虫 (正式写手)

[交流] SF6刻蚀硅片和玻璃片,那个更快? 已有7人参与

ICP系统中,SF6刻蚀硅片和玻璃片,同样条件下,刻蚀硅片是不是比玻璃快的多?
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hyliu0203

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
玻璃成分是SiO2,ICP中,F离子对Si(无掺杂)在室温下蚀刻速率比SiO2选择比大约40:1;但可以通过加入一些其他其他如:CxFy调整速率的差
8楼2013-03-01 16:49:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 hanxiao242 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
信息提示
请填处理意见