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晶体的退火成晶温度和退火升温速度的问题
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小弟有一下两个问题: 1.我做的是硅材料,成晶温度为1100,能否通过什么方法比如增加退火时间来降低成晶的温度。 2.我用了不同的退火炉子,比如管式炉和快速退火炉,用快速退火炉的升温速度为100度每秒,效果非常好,有没有什么理论能够比较好的解释一下快速退火成晶的过程或者结果,比如成核理论还是什么的? |
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