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有谁用过S1813做光刻，曝光时间和显影时间多少？
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我在用s1813做光刻加工，datasheet上说曝光最好用g-line,我现在有的uv灯是iline的，也在datasheet里面允许的曝光波长之内，只是不是最优。那么这样的话怎样选择曝光时间呢？ 多谢各位~~ |
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huanghuolin
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