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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 有谁用过S1813做光刻，曝光时间和显影时间多少？
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rooinlee

木虫 (正式写手)

天一阁主

[求助] 有谁用过S1813做光刻，曝光时间和显影时间多少？

我在用s1813做光刻加工，datasheet上说曝光最好用g-line,我现在有的uv灯是iline的，也在datasheet里面允许的曝光波长之内，只是不是最优。那么这样的话怎样选择曝光时间呢？

多谢各位~~
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1楼 2012-07-12 23:01:44
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whynot

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
看你的光源的功率，我用的是1000W 300 nm 虑光片， 2秒曝光就可以了，5％ NaOH 1：3稀释30s 显影就可以了。具体曝光时间要根据功率换算。
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2楼2012-07-13 00:06:44
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huanghuolin

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
2楼: Originally posted by whynot at 2012-07-13 00:06:44
看你的光源的功率，我用的是1000W 300 nm 虑光片， 2秒曝光就可以了，5％ NaOH 1：3稀释30s 显影就可以了。具体曝光时间要根据功率换算。

这位大侠，请教你一下，S1813正常是用MF-26A显影液吗？如果没有的话是不是可以用你所述的NaOH溶液自己稀释使用，然后效果如何，如果图形的最小线条是2um的话？非常期待您的回复！谢谢！
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飞鸽
3楼2013-07-26 00:31:58
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