应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » MIS结构测CV曲线测不到低频信号
131/1返回列表
查看: 3266  |  回复: 12
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

crystalic

铜虫 (著名写手)

[交流] MIS结构测CV曲线测不到低频信号

最近做了个MIS结构，Pt/HfO2/GaAs/Au，测CV曲线的时候1MHz以上都能测到，1MHz以下都测不出正常的曲线，这是怎么回事呢？

频率为500kHz时的cv曲线



[ Last edited by crystalic on 2012-7-5 at 08:03 ]
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

半导体技术

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2012-06-28 20:20:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wu1008

金虫 (著名写手)
Pt/HfO2/Au不是MIM吗
你说的测不到,是什么意思
赞一下 回复此楼
2楼2012-07-04 18:49:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

crystalic

铜虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2012-07-04 18:49:52
Pt/HfO2/Au不是MIM吗
你说的测不到,是什么意思

不好意思写错了，是Pt/HfO2/GaAs/Au结构，测1MHz以下的电容会出现一个峰，而不是正常的CV曲线

[ Last edited by crystalic on 2012-7-5 at 08:04 ]
赞一下 回复此楼
3楼2012-07-05 07:55:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wu1008

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by crystalic at 2012-07-05 07:55:36
不好意思写错了，是Pt/HfO2/GaAs/Au结构，测1MHz以下的电容会出现一个峰，而不是正常的CV曲线
...

不能上图吗？还是没明白要表达什么哦
赞一下 回复此楼
4楼2012-07-05 09:44:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

crystalic

铜虫 (著名写手)
上面的图就是在500kHz的时候测的CV曲线
如果频率再低的话会出现负值
赞一下 回复此楼
5楼2012-07-06 07:46:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wu1008

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by crystalic at 2012-07-06 07:46:33
上面的图就是在500kHz的时候测的CV曲线
如果频率再低的话会出现负值

这个曲线不是很正常能干吗？
你的GaAs是p型的吗？
如果频率再低的话会出现负值？按道里不会。能把频谱给我看一下吗？
赞一下 回复此楼
6楼2012-07-06 21:24:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

crystalic

铜虫 (著名写手)
我用的GaAs都是n型的，100kHz的时候是这个样子
赞一下 回复此楼
7楼2012-07-08 07:25:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wu1008

金虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
crystalic: 金币+5 2012-07-09 08:01:34
引用回帖:
7楼: Originally posted by crystalic at 2012-07-08 07:25:47
我用的GaAs都是n型的，100kHz的时候是这个样子
e3/d2/592674_1341703543_667.jpg

为什么用Au跟GaAs接触，GaAs带隙比较小吗？
另外，会不会信号屏蔽的不好
赞一下 回复此楼
8楼2012-07-08 11:25:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

crystalic

铜虫 (著名写手)
难道是Au和GaAs的接触问题，电极这块没有做过优化，只是以前做Si的时候用Au就直接用了
信号屏蔽是和什么有关呢
赞一下 回复此楼
9楼2012-07-09 07:38:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wu1008

金虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
crystalic: 金币+5, 谢谢你这么耐心的解释：） 2012-07-10 07:36:21
引用回帖:
9楼: Originally posted by crystalic at 2012-07-09 07:38:26
难道是Au和GaAs的接触问题，电极这块没有做过优化，只是以前做Si的时候用Au就直接用了
信号屏蔽是和什么有关呢

一般来说，MISM中，会选择跟半导体形成欧姆接触的金属，如果不是的话，金属和半导体间会形成接触势垒，在势垒层会产生一个电容，而且这个电容会跟外电场相关，可能会影响测试结果，但一般不会产生负的电容。
信号屏蔽这方面，我不是很清楚，因为我没遇到过则种情况，不是很好下结论
赞一下 回复此楼
10楼2012-07-09 11:42:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

husthuangbin

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
楼主，我想问一下你们MIS的电极是怎么做的，做成三明治结构不好扎针啊？？？
赞一下 回复此楼
11楼2012-11-12 15:05:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

crystalic

铜虫 (著名写手)
我用的是安捷伦B1500
赞一下 回复此楼
12楼2012-11-12 21:11:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ytusnow

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
麻烦问一下楼主C-V曲线在哪儿测得吗
赞一下 回复此楼
13楼2014-03-13 16:22:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 crystalic 的主题更新
131/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +31 医学老男孩 2026-08-13 69/3450 2026-08-16 00:16 by mo_mo_mo_mo
[基金申请] 有时候，自然基金真的不能太认真 （我的申报经验） +9 majunge000 2026-08-11 11/550 2026-08-15 23:20 by botar
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +6 wangze12014 2026-08-14 7/350 2026-08-15 20:12 by gltch
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +10 majunge000 2026-08-10 13/650 2026-08-15 12:26 by hanpeng972
[基金申请] 各位道友，我要去昆明玩几天，回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +7 启萌科技 2026-08-12 22/1100 2026-08-14 23:45 by Noways
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果？ +4 yuleib84 2026-08-11 4/200 2026-08-14 23:05 by lfy8008
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +23 Lanmanbaby 2026-08-09 37/1850 2026-08-14 13:40 by Equinoxhua
[硕博家园] 读博的好处 +4 lnee 2026-08-11 4/200 2026-08-14 10:20 by ahsoarli
[基金申请] filecode +15 documentary 2026-08-10 17/850 2026-08-14 10:08 by kissu88
[基金申请] FileCode能看出啥？ +10 要乐观耀哥 2026-08-10 32/1600 2026-08-14 09:37 by 要乐观耀哥
[文学芳草园] 阿姨 +4 汪汪锅 2026-08-09 4/200 2026-08-13 19:43 by arzu_hma
[基金申请] 重要来源：本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] Filecode 又变了，巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
[基金申请] 分享一下我之前已中青C的计划书的filecode +4 布布和一二 2026-08-11 5/250 2026-08-13 12:56 by cratir
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分？ +11 yufeiwaner 2026-08-09 13/650 2026-08-12 08:17 by yufeiwaner
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 什么时候出结果，有咨询渠道？？？ +3 Tide man 2026-08-11 3/150 2026-08-11 17:54 by kudofaye
[基金申请] 确定了，国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭