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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » MIS结构测CV曲线测不到低频信号
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crystalic

铜虫 (著名写手)

[交流] MIS结构测CV曲线测不到低频信号

最近做了个MIS结构，Pt/HfO2/GaAs/Au，测CV曲线的时候1MHz以上都能测到，1MHz以下都测不出正常的曲线，这是怎么回事呢？

频率为500kHz时的cv曲线



[ Last edited by crystalic on 2012-7-5 at 08:03 ]
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1楼 2012-06-28 20:20:33
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crystalic

铜虫 (著名写手)
难道是Au和GaAs的接触问题，电极这块没有做过优化，只是以前做Si的时候用Au就直接用了
信号屏蔽是和什么有关呢
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9楼2012-07-09 07:38:26
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wu1008

金虫 (著名写手)
Pt/HfO2/Au不是MIM吗
你说的测不到,是什么意思
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2楼2012-07-04 18:49:52
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crystalic

铜虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2012-07-04 18:49:52
Pt/HfO2/Au不是MIM吗
你说的测不到,是什么意思

不好意思写错了，是Pt/HfO2/GaAs/Au结构，测1MHz以下的电容会出现一个峰，而不是正常的CV曲线

[ Last edited by crystalic on 2012-7-5 at 08:04 ]
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3楼2012-07-05 07:55:36
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wu1008

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by crystalic at 2012-07-05 07:55:36
不好意思写错了，是Pt/HfO2/GaAs/Au结构，测1MHz以下的电容会出现一个峰，而不是正常的CV曲线
...

不能上图吗？还是没明白要表达什么哦
赞一下 回复此楼
4楼2012-07-05 09:44:16
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