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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » MIS结构测CV曲线测不到低频信号
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crystalic

铜虫 (著名写手)

[交流] MIS结构测CV曲线测不到低频信号

最近做了个MIS结构，Pt/HfO2/GaAs/Au，测CV曲线的时候1MHz以上都能测到，1MHz以下都测不出正常的曲线，这是怎么回事呢？

频率为500kHz时的cv曲线



[ Last edited by crystalic on 2012-7-5 at 08:03 ]
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1楼 2012-06-28 20:20:33
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wu1008

金虫 (著名写手)
Pt/HfO2/Au不是MIM吗
你说的测不到,是什么意思
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2楼2012-07-04 18:49:52
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crystalic

铜虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2012-07-04 18:49:52
Pt/HfO2/Au不是MIM吗
你说的测不到,是什么意思

不好意思写错了，是Pt/HfO2/GaAs/Au结构，测1MHz以下的电容会出现一个峰，而不是正常的CV曲线

[ Last edited by crystalic on 2012-7-5 at 08:04 ]
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3楼2012-07-05 07:55:36
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wu1008

金虫 (著名写手)
★
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引用回帖:
3楼: Originally posted by crystalic at 2012-07-05 07:55:36
不好意思写错了，是Pt/HfO2/GaAs/Au结构，测1MHz以下的电容会出现一个峰，而不是正常的CV曲线
...

不能上图吗？还是没明白要表达什么哦
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4楼2012-07-05 09:44:16
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crystalic

铜虫 (著名写手)
上面的图就是在500kHz的时候测的CV曲线
如果频率再低的话会出现负值
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5楼2012-07-06 07:46:33
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wu1008

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by crystalic at 2012-07-06 07:46:33
上面的图就是在500kHz的时候测的CV曲线
如果频率再低的话会出现负值

这个曲线不是很正常能干吗？
你的GaAs是p型的吗？
如果频率再低的话会出现负值？按道里不会。能把频谱给我看一下吗？
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6楼2012-07-06 21:24:28
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crystalic

铜虫 (著名写手)
我用的GaAs都是n型的，100kHz的时候是这个样子
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7楼2012-07-08 07:25:47
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wu1008

金虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
crystalic: 金币+5 2012-07-09 08:01:34
引用回帖:
7楼: Originally posted by crystalic at 2012-07-08 07:25:47
我用的GaAs都是n型的，100kHz的时候是这个样子
e3/d2/592674_1341703543_667.jpg

为什么用Au跟GaAs接触，GaAs带隙比较小吗？
另外，会不会信号屏蔽的不好
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8楼2012-07-08 11:25:24
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crystalic

铜虫 (著名写手)
难道是Au和GaAs的接触问题，电极这块没有做过优化，只是以前做Si的时候用Au就直接用了
信号屏蔽是和什么有关呢
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9楼2012-07-09 07:38:26
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wu1008

金虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
crystalic: 金币+5, 谢谢你这么耐心的解释：） 2012-07-10 07:36:21
引用回帖:
9楼: Originally posted by crystalic at 2012-07-09 07:38:26
难道是Au和GaAs的接触问题，电极这块没有做过优化，只是以前做Si的时候用Au就直接用了
信号屏蔽是和什么有关呢

一般来说，MISM中，会选择跟半导体形成欧姆接触的金属，如果不是的话，金属和半导体间会形成接触势垒，在势垒层会产生一个电容，而且这个电容会跟外电场相关，可能会影响测试结果，但一般不会产生负的电容。
信号屏蔽这方面，我不是很清楚，因为我没遇到过则种情况，不是很好下结论
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10楼2012-07-09 11:42:41
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husthuangbin

金虫 (小有名气)
★
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楼主，我想问一下你们MIS的电极是怎么做的，做成三明治结构不好扎针啊？？？
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11楼2012-11-12 15:05:03
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crystalic

铜虫 (著名写手)
我用的是安捷伦B1500
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12楼2012-11-12 21:11:21
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ytusnow

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
麻烦问一下楼主C-V曲线在哪儿测得吗
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13楼2014-03-13 16:22:37
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