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crystalic

铜虫 (著名写手)


[交流] MIS结构测CV曲线测不到低频信号

最近做了个MIS结构,Pt/HfO2/GaAs/Au,测CV曲线的时候1MHz以上都能测到,1MHz以下都测不出正常的曲线,这是怎么回事呢?

频率为500kHz时的cv曲线



[ Last edited by crystalic on 2012-7-5 at 08:03 ]
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crystalic

铜虫 (著名写手)


我用的GaAs都是n型的,100kHz的时候是这个样子


7楼2012-07-08 07:25:47
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查看全部 13 个回答

wu1008

金虫 (著名写手)


Pt/HfO2/Au不是MIM吗
你说的测不到,是什么意思
2楼2012-07-04 18:49:52
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crystalic

铜虫 (著名写手)


引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2012-07-04 18:49:52
Pt/HfO2/Au不是MIM吗
你说的测不到,是什么意思

不好意思写错了,是Pt/HfO2/GaAs/Au结构,测1MHz以下的电容会出现一个峰,而不是正常的CV曲线

[ Last edited by crystalic on 2012-7-5 at 08:04 ]
3楼2012-07-05 07:55:36
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wu1008

金虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by crystalic at 2012-07-05 07:55:36
不好意思写错了,是Pt/HfO2/GaAs/Au结构,测1MHz以下的电容会出现一个峰,而不是正常的CV曲线
...

不能上图吗?还是没明白要表达什么哦
4楼2012-07-05 09:44:16
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