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crystalic

铜虫 (著名写手)


[交流] MIS结构测CV曲线测不到低频信号

最近做了个MIS结构,Pt/HfO2/GaAs/Au,测CV曲线的时候1MHz以上都能测到,1MHz以下都测不出正常的曲线,这是怎么回事呢?

频率为500kHz时的cv曲线



[ Last edited by crystalic on 2012-7-5 at 08:03 ]
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wu1008

金虫 (著名写手)


★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
crystalic: 金币+5, 谢谢你这么耐心的解释:) 2012-07-10 07:36:21
引用回帖:
9楼: Originally posted by crystalic at 2012-07-09 07:38:26
难道是Au和GaAs的接触问题,电极这块没有做过优化,只是以前做Si的时候用Au就直接用了
信号屏蔽是和什么有关呢

一般来说,MISM中,会选择跟半导体形成欧姆接触的金属,如果不是的话,金属和半导体间会形成接触势垒,在势垒层会产生一个电容,而且这个电容会跟外电场相关,可能会影响测试结果,但一般不会产生负的电容。
信号屏蔽这方面,我不是很清楚,因为我没遇到过则种情况,不是很好下结论
10楼2012-07-09 11:42:41
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wu1008

金虫 (著名写手)


Pt/HfO2/Au不是MIM吗
你说的测不到,是什么意思
2楼2012-07-04 18:49:52
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crystalic

铜虫 (著名写手)


引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2012-07-04 18:49:52
Pt/HfO2/Au不是MIM吗
你说的测不到,是什么意思

不好意思写错了,是Pt/HfO2/GaAs/Au结构,测1MHz以下的电容会出现一个峰,而不是正常的CV曲线

[ Last edited by crystalic on 2012-7-5 at 08:04 ]
3楼2012-07-05 07:55:36
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wu1008

金虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by crystalic at 2012-07-05 07:55:36
不好意思写错了,是Pt/HfO2/GaAs/Au结构,测1MHz以下的电容会出现一个峰,而不是正常的CV曲线
...

不能上图吗?还是没明白要表达什么哦
4楼2012-07-05 09:44:16
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