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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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oyeh727

铁虫 (初入文坛)

[求助] 怎么在波壳内表面镀Cr2O3或TiO2膜,膜厚约10nm?

跨行啦!
目前的项目,需要在波壳内表面镀Cr2O3或TiO2膜,膜厚约10nm,用于防止静电累积。
请问
1)何种方法能保证膜厚均匀,与基底结合力强呢?
2)可以自己DIY吗,需要哪些知识和设备;
3)如果不能自己做,上批量的话,成本如何?
谢谢!
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

可以考虑用ALD,均匀性很好,而且对异型衬底很有好处。设备投资不高,如果上批量,也能找到加工的地方。具体的方法可以站内联系我。
2楼2012-09-19 14:01:03
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