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oyeh727

铁虫 (初入文坛)

应助: 2 (幼儿园)
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专业: 高电压与绝缘

[求助] 怎么在波壳内表面镀Cr2O3或TiO2膜，膜厚约10nm？

跨行啦！
目前的项目，需要在波壳内表面镀Cr2O3或TiO2膜，膜厚约10nm，用于防止静电累积。
请问
1）何种方法能保证膜厚均匀，与基底结合力强呢？
2）可以自己DIY吗，需要哪些知识和设备；
3）如果不能自己做，上批量的话，成本如何？
谢谢！

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【求助】在ITO玻璃上的多孔膜上镀TiO2膜（利用TiCl3溶液）已经有7人回复

1楼 2012-06-07 15:34:51

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yswyx

专家顾问 (著名写手)

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专业: 半导体微纳机电器件与系统
管辖: 微米和纳米

【答案】应助回帖

可以考虑用ALD，均匀性很好，而且对异型衬底很有好处。设备投资不高，如果上批量，也能找到加工的地方。具体的方法可以站内联系我。

2楼2012-09-19 14:01:03

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