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MC-unmecrcy

银虫 (小有名气)

[求助] 如何制备薄的断面样品,做SEM分析???

石英衬底上镀膜,准备看看薄膜的厚度,采用直接掰开的方式,测试出来发现薄膜脱落,或者是效果很差,怎么办??做过断面的虫子求指点啊,如何制备一个比较好的断面样品啊??
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你这膜本身的问题吧~长得太不结实了。
麦麦爸爸爱小牛
2楼2012-05-23 23:29:04
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蒋青松

荣誉版主 (著名写手)

优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

★
感谢参与,应助指数 +1
MC-unmecrcy: 金币+1 2012-05-27 00:06:01
我们都是直接掰开的,效果还好,能清晰的看到截面哈!
3楼2012-05-24 07:45:24
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志狼

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
感谢参与,应助指数 +1
MC-unmecrcy: 金币+1 2012-05-27 00:05:54
一般都是在液氮里面掰断,膜比较脆不容易弯曲吧
4楼2012-05-24 13:32:48
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yangyasheng

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-25 07:44:06
MC-unmecrcy: 金币+1 2012-05-27 00:06:09
这个用激光切割吧
切透了掰下  会比较好
路虽远,行则必至,事虽难,做则必成;
5楼2012-05-24 13:40:23
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chenbo2011

木虫 (小有名气)

先用金刚刀在衬底背面划出一道浅沟,很容易就掰开了,而且断面很整齐。
6楼2012-05-24 14:03:59
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seaxiaomuch

捐助贵宾 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-25 07:44:25
MC-unmecrcy: 金币+1 2012-05-27 00:07:45
我经常用的是5楼 的方法,但是有时候也会出现楼主所说的现象,关键是膜长的结实不结实
7楼2012-05-24 16:06:37
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wukong1235

铁杆木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
感谢参与,应助指数 +1
MC-unmecrcy: 金币+1 2012-05-27 00:07:50
用金刚笔呗,石英还是比较好切的,背面画一刀轻轻就掰开了
8楼2012-05-25 12:16:24
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MC-unmecrcy

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 蒋青松 at 2012-05-24 07:45:24
我们都是直接掰开的,效果还好,能清晰的看到截面哈!

..额。。我的石英片比较厚。。。所以嘛等我弄断了,膜也就掉完了
9楼2012-05-27 00:05:43
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MC-unmecrcy

银虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by chenbo2011 at 2012-05-24 14:03:59
先用金刚刀在衬底背面划出一道浅沟,很容易就掰开了,而且断面很整齐。

石英片1mm厚的。。切起来都很难啊,,下次换硅片试试
10楼2012-05-27 00:06:57
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