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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 如何制备薄的断面样品，做SEM分析？？？
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MC-unmecrcy

银虫 (小有名气)

[求助] 如何制备薄的断面样品，做SEM分析？？？

石英衬底上镀膜，准备看看薄膜的厚度，采用直接掰开的方式，测试出来发现薄膜脱落，或者是效果很差，怎么办？？做过断面的虫子求指点啊，如何制备一个比较好的断面样品啊？？
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1楼 2012-05-23 22:43:43
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你这膜本身的问题吧~长得太不结实了。
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麦麦爸爸爱小牛
2楼2012-05-23 23:29:04
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蒋青松

荣誉版主 (著名写手)

优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
MC-unmecrcy: 金币+1 2012-05-27 00:06:01
我们都是直接掰开的，效果还好，能清晰的看到截面哈！
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3楼2012-05-24 07:45:24
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志狼

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
MC-unmecrcy: 金币+1 2012-05-27 00:05:54
一般都是在液氮里面掰断，膜比较脆不容易弯曲吧
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4楼2012-05-24 13:32:48
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yangyasheng

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-25 07:44:06
MC-unmecrcy: 金币+1 2012-05-27 00:06:09
这个用激光切割吧
切透了掰下  会比较好
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路虽远，行则必至，事虽难，做则必成；
5楼2012-05-24 13:40:23
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chenbo2011

木虫 (小有名气)
先用金刚刀在衬底背面划出一道浅沟，很容易就掰开了，而且断面很整齐。
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6楼2012-05-24 14:03:59
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seaxiaomuch

捐助贵宾 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-25 07:44:25
MC-unmecrcy: 金币+1 2012-05-27 00:07:45
我经常用的是5楼 的方法，但是有时候也会出现楼主所说的现象，关键是膜长的结实不结实
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7楼2012-05-24 16:06:37
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wukong1235

铁杆木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
MC-unmecrcy: 金币+1 2012-05-27 00:07:50
用金刚笔呗，石英还是比较好切的，背面画一刀轻轻就掰开了
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8楼2012-05-25 12:16:24
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MC-unmecrcy

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 蒋青松 at 2012-05-24 07:45:24
我们都是直接掰开的，效果还好，能清晰的看到截面哈！

..额。。我的石英片比较厚。。。所以嘛等我弄断了，膜也就掉完了
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9楼2012-05-27 00:05:43
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MC-unmecrcy

银虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by chenbo2011 at 2012-05-24 14:03:59
先用金刚刀在衬底背面划出一道浅沟，很容易就掰开了，而且断面很整齐。

石英片1mm厚的。。切起来都很难啊，，下次换硅片试试
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10楼2012-05-27 00:06:57
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