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如何制备薄的断面样品,做SEM分析???
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MC-unmecrcy
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如何制备薄的断面样品,做SEM分析???
石英衬底上镀膜,准备看看薄膜的厚度,采用直接掰开的方式,测试出来发现薄膜脱落,或者是效果很差,怎么办??做过断面的虫子求指点啊,如何制备一个比较好的断面样品啊??
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2012-05-23 22:43:43
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MC-unmecrcy
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
引用回帖:
6楼
:
Originally posted by
chenbo2011
at 2012-05-24 14:03:59
先用金刚刀在衬底背面划出一道浅沟,很容易就掰开了,而且断面很整齐。
石英片1mm厚的。。切起来都很难啊,,下次换硅片试试
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10楼
2012-05-27 00:06:57
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你这膜本身的问题吧~长得太不结实了。
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2楼
2012-05-23 23:29:04
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2012-05-27 00:06:01
我们都是直接掰开的,效果还好,能清晰的看到截面哈!
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3楼
2012-05-24 07:45:24
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2012-05-27 00:05:54
一般都是在液氮里面掰断,膜比较脆不容易弯曲吧
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4楼
2012-05-24 13:32:48
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