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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 电化基础 » 镀层断面的SEM，如何切割
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周宏儒

新虫 (初入文坛)

[求助] 镀层断面的SEM，如何切割

我现在沉积做了多层膜，用一般切纸的切割机切割，去ESM 发现有覆盖现象，前面的镀层覆盖了后面的镀层。求高人指教，怎么取得的断面可以看到清晰的镀层分布，而没有互相之间的覆盖啊？
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1楼 2012-05-14 17:31:24
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xiaobo1255

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
周宏儒: 金币+2, ★★★很有帮助, 谢谢你的回答 2012-05-15 15:55:41
一般是线切割，然后镶嵌金相试样，按照金相试样的标准去磨就可以了
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2楼2012-05-14 17:43:51
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adu110

新虫 (初入文坛)
如果有FIB的话，这种惰性气体真空电离后的切割是最好的，不会有金属的延展，也不会切割痕迹。
如果没有FIB，那只能树脂灌胶做成金相切片来分析了。
PS:本人是这方面的高手。。。
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10楼2012-05-18 10:25:33
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普通回帖

xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
周宏儒: 金币+3, ★★★很有帮助, 谢谢你的回答 2012-05-15 15:56:25
可以考虑低温掰断看断面，这样影响比较小
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麦麦爸爸爱小牛
3楼2012-05-14 19:27:42
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lmzhang

至尊木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
直接掰断，测试断面，这样应该效果好些！
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4楼2012-05-15 09:02:16
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liucheng200883

至尊木虫 (著名写手)

帝

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
现在好像有原位切割的SEM的吧，就是在扫描的时候直接切断截面或者粒子的剖面，在进行SEM测试的。
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个性造就风格，风格成就人生，人生创造奇迹
5楼2012-05-15 11:15:29
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3pengbo

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不知道你沉积的是有机膜还是无机膜，如果是有机膜的话可以使用液氮脆断。
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6楼2012-05-15 14:11:45
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周宏儒

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 3pengbo at 2012-05-15 14:11:45:
不知道你沉积的是有机膜还是无机膜，如果是有机膜的话可以使用液氮脆断。

无机的金属多层镀层 谢谢你的回答
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7楼2012-05-15 15:53:26
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whyao

木虫 (正式写手)
把样品直立放置在一个小塑料瓶盖内（矿泉水瓶盖即可），如果无法直立，可以把多个样品并排放一起，编上号码。灌入环氧树脂（要加固化剂），烘干固化之后，在抛光机上打磨。先用粗砂纸打磨，直至样品断面暴露出来，再改用细砂纸抛光。注意，是从瓶盖平面方向打磨，与样品直立方向垂直。打磨好的样品可放在金相显微镜，或用其他方法观察。这样的断面样品会做的很漂亮的。
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8楼2012-05-17 09:35:48
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dazhi7758

至尊木虫 (著名写手)
放入液氮取出掰断
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9楼2012-05-17 09:51:36
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