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周宏儒

新虫 (初入文坛)

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虫号: 1423742
注册: 2011-09-30
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专业: 电化学

[求助] 镀层断面的SEM，如何切割

我现在沉积做了多层膜，用一般切纸的切割机切割，去ESM 发现有覆盖现象，前面的镀层覆盖了后面的镀层。求高人指教，怎么取得的断面可以看到清晰的镀层分布，而没有互相之间的覆盖啊？

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1楼 2012-05-14 17:31:24

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whyao

木虫 (正式写手)

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虫号: 131817
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性别: GG
专业: 无机化工

把样品直立放置在一个小塑料瓶盖内（矿泉水瓶盖即可），如果无法直立，可以把多个样品并排放一起，编上号码。灌入环氧树脂（要加固化剂），烘干固化之后，在抛光机上打磨。先用粗砂纸打磨，直至样品断面暴露出来，再改用细砂纸抛光。注意，是从瓶盖平面方向打磨，与样品直立方向垂直。打磨好的样品可放在金相显微镜，或用其他方法观察。这样的断面样品会做的很漂亮的。