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扫描电镜能谱成分分析
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bluesky_L
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[交流]
扫描电镜能谱成分分析
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大家认为SEM-EDS打点分析的AT%和Weight% 结果可信度有多大,或者说是准确度,我感觉人为因素影响很大!
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1楼
2012-05-23 09:32:55
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huang3862
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qlf_126: 编辑内容
2012-05-23 09:55
只要在制样过程中对于样子清洗干净(用电磁振动),对于成分分析的可信度是很高的。只不高
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只是不能完全代表全部,因为只是微区的探测。
[
Last edited by qlf_126 on 2012-5-23 at 09:55
]
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3楼
2012-05-23 09:43:02
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qlf_126
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2012-05-23 10:09:17
不怕打击你的!EDS只能用作定性的分析吧!其实定性分析俺也不很相信,因为操作者的影响很大啊!只能作为初步判断的依据……
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泥鳅——也是鱼!!!
2楼
2012-05-23 09:37:59
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3楼
:
Originally posted by
huang3862
at 2012-05-23 09:43:02:
只要在制样过程中对于样子清洗干净(用电磁振动),对于成分分析的可信度是很高的。只不高(过)只是不能完全代表全部,因为只是微区的探测。
不敢苟同这观点啊!据俺操作时得出的经验,有些元素是可以随意添加的!只是俺从没这么干过!!!嘿嘿……
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泥鳅——也是鱼!!!
4楼
2012-05-23 09:57:30
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SEM能谱的束斑一般是微米级(我们这边2μm左右的样子)的吧
所以要看这个选区的大小了
像有些小的结构(如纳米级的)的结果
只能参考下
另外一些小原子量的也不太准
当然 你的选区清洁情况至关重要
总之 EDS是半定量的手段
目前这个元素分析更准确的手段
应该可以采用原子探针相关手段
但不是很普遍
[
Last edited by 好学的孩子 on 2012-5-23 at 11:22
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5楼
2012-05-23 11:20:51
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