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bluesky_L

银虫 (小有名气)

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[交流] 扫描电镜能谱成分分析已有20人参与

大家认为SEM-EDS打点分析的AT%和Weight% 结果可信度有多大，或者说是准确度，我感觉人为因素影响很大！

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1楼 2012-05-23 09:32:55

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好学的孩子

木虫 (著名写手)

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SEM能谱的束斑一般是微米级（我们这边2μm左右的样子）的吧
所以要看这个选区的大小了
像有些小的结构（如纳米级的）的结果
只能参考下
另外一些小原子量的也不太准
当然你的选区清洁情况至关重要
总之 EDS是半定量的手段

目前这个元素分析更准确的手段
应该可以采用原子探针相关手段
但不是很普遍

[ Last edited by 好学的孩子 on 2012-5-23 at 11:22 ]