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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 复合材料 » 交流互助 » 磁控溅射Ti-Al合金膜
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朱雪婷

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射Ti-Al合金膜 已有1人参与

磁控溅射Ti-Al合金薄膜为什么Al含量在69at%时，XRD还没有金属间化合物的衍射峰呢,这是什么原因，请大家帮找个说法！谢谢
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1楼 2012-05-21 09:38:27
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朱雪婷

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by Smallpeng at 2012-05-22 09:01:39:
你怎么溅射的呢？什么靶材啊？

用的是镶嵌靶
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7楼2012-05-23 10:48:26
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yuquanyao

荣誉版主 (知名作家)

小背包

优秀版主优秀版主
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这两种元素可以形成金属间化合物吗？
会不会出现两相？或者是非晶？都有可能的呀。
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每个人都是一个能量源，要勇于向周围传递正能量！
2楼2012-05-21 13:34:31
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朱雪婷

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yuquanyao at 2012-05-21 13:34:31:
这两种元素可以形成金属间化合物吗？
会不会出现两相？或者是非晶？都有可能的呀。

可以的啊，XRD的峰只有Al(111)衍射峰，就不知道为什么会没有金属间化合物的峰
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3楼2012-05-21 16:33:35
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yuquanyao

荣誉版主 (知名作家)

小背包

优秀版主优秀版主
含量有多少？与相图对比了吗？
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每个人都是一个能量源，要勇于向周围传递正能量！
4楼2012-05-21 19:24:16
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