24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 1072  |  回复: 4
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

zgfbb

铁虫 (初入文坛)


[交流] PECVD掉渣问题 已有4人参与

本人现利用一台21 inch PECVD镀SiO2,每次镀完膜厚总是有小颗粒附着在膜的表面,不知道有哪些原因造成此种现象的发生。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

陈勇跃

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by khjxy at 2012-05-09 13:06:22:
这些小颗粒有可能是二氧化硅颗粒,气体在喷淋口提前反应,生成二氧化硅

那如何去除呢?
4楼2012-05-09 20:43:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

khjxy

铜虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这些小颗粒有可能是二氧化硅颗粒,气体在喷淋口提前反应,生成二氧化硅
3楼2012-05-09 13:06:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kjwu

捐助贵宾 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
先判断颗粒是哪种方式导致:
1)气体在喷淋口提前反应, 可以通过降低反应压力改变;
2)Plasma 关闭时引起, 可以通过分步降低关闭power
5楼2012-05-24 15:44:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 315求调剂 +11 小羊小羊_ 2026-04-02 11/550 2026-04-02 21:57 by wwytracy
[考研] 312求调剂 +3 赊月色 2026-04-02 4/200 2026-04-02 21:50 by macy2011
[考研] 319求调剂 +16 太容易1018 2026-04-01 16/800 2026-04-02 20:12 by seattle40
[考研] 279求调剂 +5 傅文秋 2026-04-02 5/250 2026-04-02 18:10 by 笔落锦州
[论文投稿] chinese chemical letters英文版投稿求助 120+4 Yishengeryi 2026-03-30 6/300 2026-04-02 17:19 by Yishengeryi
[考研] 266求调剂 +4 学员97LZgn 2026-04-02 4/200 2026-04-02 13:03 by yulian1987
[考研] 327求调剂 +9 汲亦昊 2026-03-29 9/450 2026-04-02 11:44 by 运气yunqi
[考研] 一志愿北交大材料工程总分358 +8 cs0106 2026-04-01 9/450 2026-04-02 10:36 by 不吃魚的貓
[考研] 377求调剂 +3 RASKIN 2026-04-02 3/150 2026-04-02 09:45 by zzchen2000
[考研] 【求调剂】新能源材料本科,一志愿211,初试321 +6 求调剂学校, 2026-04-02 6/300 2026-04-02 09:41 by 晴空210210
[考研] 298求调剂 +4 什么是胖头鱼 2026-03-30 6/300 2026-04-01 22:06 by 客尔美德
[考研] 353求调剂 +4 拉钩不许变 2026-04-01 4/200 2026-04-01 18:10 by 记事本2026
[硕博家园] 考研调剂 +5 骆驼男人 2026-04-01 5/250 2026-04-01 14:28 by syjjj0321
[考研] 环境工程调剂 +9 hyzzzzzzz. 2026-04-01 9/450 2026-04-01 14:20 by salamander`
[考研] 339求调剂 +5 zjjkt 2026-03-31 5/250 2026-04-01 09:18 by JourneyLucky
[考研] 材料科学与工程求调剂 +13 深V宿舍吧 2026-03-29 13/650 2026-03-31 19:50 by Dyhoer
[考研] 11408总分309,一志愿东南大学求调剂,不挑专业 +5 天赋带到THU 2026-03-29 6/300 2026-03-30 20:49 by dick_runner
[考研] 327求调剂 +5 小卡不卡. 2026-03-29 5/250 2026-03-30 19:30 by Wang200018
[考研] 一志愿双一流机械285分求调剂 +4 幸运的三木 2026-03-29 5/250 2026-03-29 14:49 by Miko19
[考研] 312,生物学求调剂 +3 小译同学abc 2026-03-28 3/150 2026-03-28 15:32 by 落睿可思
信息提示
请填处理意见